工業（yè）潔淨廠房（fáng）氣體動力管道設計

一、潔淨廠房內氣體動力管道的敷設
1、氣體動力管道一般包括蒸（zhēng）汽（qì）、壓縮空氣、氧氣、氮氣、天然氣、真空管道，潔淨廠房是（shì）指工藝有空氣潔淨度要求高（gāo）的廠房。氣體動力管道一般屬於GC類壓力管道。氣（qì）體（tǐ）動力管道的幹管一般布置在技術夾層內、技術夾道內，當有可燃、助燃和窒息（xī）性氣體時，應有良好的通風設施。氣體管道的幹（gàn）管在廠房的進口處，宜設置入口總閥、壓力表、真空表、超壓切斷、放散管、計（jì）量裝置、減（jiǎn）壓裝置（zhì）及過濾器等。在室內氣體幹管的末端應當連接管徑不小於DN20的管道，並延伸到走（zǒu）廊端頭或者其他適當的地（dì）方引下降管，在下降管上裝設吹除閥，同時（shí）設（shè）置（zhì）緩衝箱。吹除時裝設臨時軟管接至排風管或其他安全地方排出。摻雜氣體的主管、支管（guǎn）及分支管宜明裝敷設（shè）。主、支管管末端可不設吹除閥（fá）。
2、高（超）純氣體（tǐ）管線長度應盡量短，根據氣體耗量確定管徑，不宜（yí）設預（yù）留口（kǒu），不應出現“盲管”等不易吹除的部位；在氣體終端純化裝置的進（jìn）、出口處，關鍵工藝設備（bèi）的入口處以及必（bì）須進行取樣的管段上應設置（zhì）取樣口。
3、氣體管道穿過潔淨室的牆（qiáng）壁、樓板時，在牆壁（或樓板）的孔洞內管道不應有（yǒu）焊縫，在孔洞的兩側應用不鏽鋼板封（fēng）蓋，不鏽（xiù）鋼板與（yǔ）牆壁（或樓（lóu）板）之間應加設橡膠墊，不鏽鋼板用螺釘固定在牆壁（或樓板）之間，均應塗以矽膠密封劑進行密封。
4、可（kě）燃性氣體和氧氣管道的末端或高點應裝設（shè）放散管，放散管應高出屋脊2米。在（zài）可燃氣體支管上應設崗位水封，在放散管上應設置全天候（hòu）阻火器。
5、在潔淨室內，當（dāng）使（shǐ）用可燃性氣體或有毒性氣體的設備較多時，應設置氣（qì）體濃度檢測報警（jǐng）裝（zhuāng）置（zhì）。
6、氫、氧氣或易燃易爆管（guǎn）道應有可（kě）靠的（de）防靜電接地措施。
二、氣體動力管道主材和閥門的選（xuǎn）用
管道材料應根據氣體純度的不同要求進行選擇，高（gāo）（超）純氣體管道材料應具有化學穩定性好，吸（xī）附性差，滲透性小等特性。
1、常（cháng）用高純氣體管道應根據所輸送的不（bú）同的氣體和（hé）用途選用不同（tóng）品種的奧氏（shì）體（tǐ）不鏽鋼管，盡量不用銅材質造的（de）管道，按純度要（yào）求≥99.9999應采用（yòng）不（bú）鏽鋼管。≥99.99宜采用不鏽鋼管。＜99.99可（kě）用無縫鋼管。氣（qì）體終端純化裝置入口側的高純氣體管道一般選用0Cr18Ni9，0Cr19Ni10有縫或無縫不鏽鋼（gāng）管，但對（duì）於不經過（guò）氣體終端純化處理而直接通往用氣點的高純氣體管道宜采用無縫不鏽鋼管。氣（qì）體終端純（chún）化裝置出口側的超純氣體管道及摻雜氣體的管道一般選用0Cr17Ni11M02，1Cr18Ni11Nb無縫不鏽鋼管道。接至工藝設備的管道應選用不（bú）鏽鋼管或不鏽鋼波紋管（guǎn）道。不能使用聚四氟乙烯管或其他軟管。
2、輸送無毒無（wú）味氣體管如淨化幹燥的壓縮空氣管、真空（kōng）管等一（yī）般（bān）選用熱軋鍍鋅鋼管。
3、高（超）純氣體管道選用（yòng）閥門應選用密封性良好的（de）針型閥、球閥、隔膜閥、真空閥及角閥等；並注意介質的壓力要求，對易燃易爆氣體使用閥門時壓力應提高1-2個等級。在潔淨室內禁用銅和銅合金的閥門。取樣閥應選用不鏽鋼波紋管密封閥。選用閥門材料閥體、閥杆為0Cr18Ni9；波紋管為（wéi）1Cr18Ni11Nb；閥座、填料為聚四氟乙（yǐ）烯；密封墊可用不鏽鋼有色金屬或聚四氟乙烯。
4、視工藝生產、潔淨（jìng）室或（huò）局部潔淨（jìng）設（shè）備的潔淨度等級要（yào）求合理（lǐ）選用氣體管道的高效過（guò）濾器。
三、管道的（de）連接
1、管道（dào）的連（lián）接應采用特製的成（chéng）型管接頭，三通彎頭等進行套管（guǎn）焊接，對於不鏽鋼管（guǎn）必須采用氬弧焊打（dǎ）底，施焊時在管內通入氬氣（以高純度氬為好（hǎo）），其管道（dào）附件的製作材料應與其配管材料（liào）相同。
2、管道與設備、閥門的連接應視具體情況采用法蘭、螺紋、卡套或其他密封性能優良的連接方法（fǎ），螺紋連接宜采用錐螺紋連接為（wéi）好，這種連接方式，不需要密封墊，但必須在螺紋部分塗上密（mì）封（fēng）劑後方能擰上，不能使用密封帶（dài）。采用平螺紋連接時，必須加密封墊，其密封（fēng）性亞於錐螺紋連接方（fāng）式。
3、高（超）純氣體管與（yǔ）閥門，附件連接用的密封墊材料應采用不鏽鋼，有色金屬（如鎳等）、聚四氟乙烯（xī）和氟橡膠等（děng）。
4、管子的切割不得使用氧炔焰，可采用手工活機械切割，切口應與管軸線垂直。管（guǎn）切口表麵平（píng）整不得有裂紋。不（bú）鏽鋼管道粘有大量油脂類灰塵，應放入清洗（xǐ）槽（cáo）清洗（xǐ），油管道須按設計要求進行（háng）脫脂處理。脫脂方法：脫脂溶劑采用四氯化碳、二氯乙烷或蒸餾乙醇。管道外表麵脫：用浸有溶液的（de）抹布擦抹（mò），然後（hòu）自然風幹。管道內表麵脫（tuō）脂：將溶液（yè）灌入管段內，灌入量占（zhàn）管段體（tǐ）積70%，將管段兩端堵嚴，水（shuǐ）平放置10-15分鍾，每5分鍾滾動一次，滾動3-4次（cì），倒出溶液，用氮氣（qì）吹幹，吹至無溶液（yè）氣味為止（zhǐ）。繼續自然放置24小時然後用木塞（sāi）將管道兩段堵嚴備用。
四、係統實（shí）驗
1、係統（tǒng）安裝完畢後應作氣壓（yā）強度試驗，不得作水壓試驗，氣壓強度試驗采用含塵粒徑不大於0.5um的氮氣等惰性（xìng）氣體，以1.5倍的工作壓（yā）力進行試驗，保壓10分鍾，用外塗肥皂水或檢漏（lòu）液檢查（chá），以不漏為合格。
2、氣壓強度試驗合格後作氣密性（xìng）試驗，用以氣壓強（qiáng）度試驗相同的氣體以1.05-1.10倍工作壓力進行，保壓30分鍾，用（yòng）外塗肥皂（zào）水或檢漏液檢查，以不漏為合格。
3、氣密性試驗合格後再進行（háng）管道泄漏量試驗，試（shì）驗壓力為工作壓力，保壓24小時，以小時平均泄漏率小於5‰為合格（gé）。
4、吹掃和檢驗（yàn）
（1）係統投入使用前，用幹燥淨（jìng）化的（de）壓縮空氣*吹掃，吹掃（sǎo）時間一（yī）般為24小時。
（2）吹掃後，用幹燥淨化的壓縮空（kōng）氣（qì）進行露點和潔淨度檢查。
a.露點檢（jiǎn）查：用兩台微量水份分析儀，分（fèn）別設在管道係統始、末端，分析氣（qì）體中的水含量，管路末端的水含量（liàng）不超過管路始端的水含量10%為合格。
b.潔（jié）淨度檢查（chá）：用兩台粒子計數器（qì）分別（bié）設在管路係統的始、末端，分（fèn）析氣體中的粒（lì）子數，管道末（mò）端大於3.5um的（de）粒（lì）子數比管道始端的粒子數（shù）增（zēng）量每升不多於3.5粒為合格。
五（wǔ）、驗收
工程驗收按現行國標（biāo）《工業管道（dào）工程施工（gōng）及驗收規範》的相關條款進行。