
1、潔淨室(shì)送風的過濾
潔淨室空調送風係統的末端裝置—高效空氣過濾器(HEPA)或超高效空氣過(guò)濾器(ULPA),在正常情況下能有效過濾經空調機組處理的新風和回風中的顆粒汙染物。經高效、超高效空氣過濾(lǜ)器(qì)處理後的潔淨空(kōng)氣送入室內,可(kě)有(yǒu)效排替、衝淡室內汙染物,以維持室內的潔淨度。但末級(jí)過濾器如有破損或過濾器與支撐(chēng)框架間的(de)密封出現裂(liè)隙,氣密性失效,那麽未(wèi)經高效空氣過濾器過濾的空氣就可能攜帶大量汙染粒子進入室內並隨氣流擴散,危害影響範圍較大。因此(cǐ)潔淨室投入使用前的末級過(guò)濾器檢漏、堵漏或更換工作十分重要。運行過程中防範末級過濾器受損,也十分重要。高效空氣過濾器達到使用壽命後及(jí)時更換也同樣予以關注。
2、不同級別相鄰潔淨室(shì)間的壓差
防(fáng)止(zhǐ)從(cóng)相鄰的(de)潔(jié)淨度較(jiào)低區(qū)域(yù)向潔淨室傳播汙染的主要方法是:維持高潔淨度區域相對於(yú)低潔淨度區域、低潔淨度區域相對於(yú)服務區域(yù)、服務區域(yù)相(xiàng)對於室外,有一個合適(shì)的正壓值。根據不同的情況,不(bú)同級別相鄰房間的正壓值約為5~10Pa。讓不同潔淨度的各級房間維持梯次的壓差,目(mù)的是當房間門處於關閉情況時,通過縫隙(xì)的氣流流向是由高級別潔淨室流向低級別潔淨室、由低級別潔淨室流向(xiàng)走廊和服(fú)務區,再流向室外,這樣就可減少由室外向服務區(qū)域、服務區域向低級別潔淨室、低級(jí)別潔淨室向高級別潔淨室傳播(bō)空氣中的懸浮汙染物。
正壓差值並(bìng)非越大(dà)越好,研究和實踐證(zhèng)明,人員物料通(tōng)過(guò)門時,即使門兩側關(guān)門壓差高達50~60Pa,仍難避免(miǎn)隨人員、物料向內移動時的攜帶氣(qì)流將汙染帶(dài)入室內。特(tè)別是(shì)當門兩側存在溫度差別時,門敞開後,即使無人(rén)走動,在開口斷麵部分麵積上也存在(zài)逆向氣流,帶入空氣(qì)的懸浮汙染物。此(cǐ)外,過高(gāo)的正壓差還會造成潔淨(jìng)室的門既難開啟又難關嚴,門縫氣流造(zào)成哨聲噪聲,以及因氣流外溢過量而補風(fēng)量增加,浪費能源和加重各級過濾器負擔。
潔淨室合理(lǐ)的氣流組織方(fāng)案是減弱開門時汙染物侵(qīn)入的(de)輔助手段(duàn)之一。通常在靠(kào)近低級別潔淨室一(yī)側的門口設(shè)置一些(xiē)回風口,以形成(chéng)部分潔淨室氣流向(xiàng)門一側運動的趨勢,與(yǔ)潔淨室在(zài)關門狀態下的正壓外溢氣流匯成一股向(xiàng)門內(nèi)側運動的氣流流型(xíng)。一旦門開(kāi)敞後,侵入的汙染物向潔(jié)淨室進深擴散的範圍將會明(míng)顯縮小。了解開門(mén)時汙染侵(qīn)入的風險,使一些潔淨室的關鍵工序或汙染敏感工藝與門保持合理的距離(lí),也是必要措施之一。
此(cǐ)外,設置帶有不能同時開啟的兩道門的緩衝間或氣閘室,也是減少開門時傳入(rù)空氣中懸浮汙(wū)染物的手段(duàn)之一。一些常規程(chéng)序,如(rú)進入潔淨室(shì)穿鞋套(tào),使用地麵粘墊(diàn)等也是減少帶入外部汙染的必要手段。
3、合理的氣流組織
潔淨室的送、回(huí)風係統,既(jì)是清除空氣中懸浮汙染(rǎn)物的(de)重要手段(duàn),但也可能成為傳(chuán)播汙染(rǎn)的途徑。因此,合理的氣流(liú)組織(zhī)對於潔淨室(shì)十分(fèn)重要。
除上麵提到(dào)的在與較低級(jí)別潔淨室相鄰的門內兩側設(shè)置回風口,以縮(suō)減開(kāi)門時室外空氣中汙染物侵入的範圍的方法外,還(hái)有(yǒu)許多可(kě)以改善潔淨室通風效果的措施。
例如,對那些對空氣中懸(xuán)浮汙染物敏感的工序或工藝,在非單向流(liú)潔淨室中盡(jìn)可能在其上方設置送(sòng)風(fēng)口,使其處於潔淨空氣的籠罩下和處在潔淨氣流的上風向。而在那些可能產生汙染的工藝附近設置回風口,使它們處於下風向,以減(jiǎn)少(shǎo)汙染物在潔淨室的擴散。產生汙染物較為嚴重(chóng)的工序,如半導(dǎo)體工業中單晶矽(guī)的切(qiē)片、磨片,製藥行業中的粉碎工藝、壓(yā)片、糖衣成(chéng)型工序(xù)等,則宜於在工藝上采取隔離、屏蔽(bì)措施並適當的排風,將所產生(shēng)的懸浮汙染(rǎn)物直接排除室外,減少它們向室內空氣的擴散量。
又例如,對(duì)那(nà)些關鍵工序,如在凍幹車間收粉室的凍幹機開(kāi)口處、大輸液的灌封部位(wèi)、生物潔淨(jìng)室手術室的手術區等,采用垂(chuí)直或水平單(dān)向流氣流流型,用潔淨空氣籠(lóng)罩與隔絕周邊環境的汙染,都(dōu)是合理(lǐ)利用氣流組織的案例。
4、圍護結構等表麵的維護與清(qīng)潔
首(shǒu)先是潔淨室的牆麵、地麵、頂棚等圍護結構,在設計、施工中要選用表麵光潔、質地堅實、不產塵、少積塵(chén)、耐清洗等符(fú)合質量要求(qiú)的材料。要求在被頻繁擦拭、洗滌等清潔、消毒的條件下,表麵不變粗糙或多孔,否則會存留微粒和化學汙染物,或容易導致微生(shēng)物汙染。
在設計、施工中應保證潔淨室內的牆麵(miàn)、地麵、頂棚、門、空氣擴散板和地(dì)漏等都是易於進行表麵清潔的。而且(qiě)還應把牆麵、地麵、頂棚等的接縫處的細節(jiē)考慮在內,特別要避免出現有可能積留水分(fèn)的地方或表麵。
傳送設(shè)備的(de)表麵易於(yú)清潔也十分重要。物(wù)料、零(líng)部件等的傳送帶往往是難於清潔的(de)部位,在工藝設計時必須予(yǔ)以關注(zhù)。
在輪車、推車和攜帶材料的人員頻繁(fán)通行、極易碰到牆和門等的外露表麵(miàn)處,應有耐磨損、耐衝撞的防(fáng)磨條或防護杠,以保(bǎo)護易受損的材料,如醫院(yuàn)手(shǒu)術室潔淨走廊的防撞帶就是應(yīng)用的實例。
在設計和施工等(děng)方麵符合要求的基礎上,嚴格的(de)清潔製度是保證(zhèng)盡可能減少圍護結構散發汙染的重要(yào)方麵。
5、控製人員散發的汙染
人員的鼻腔、口腔、皮膚、頭發和身上的服(fú)裝都是散發汙(wū)染物。根據試驗,人員身著一般工作服行走時,每分(fèn)鍾散發的≥0.5um的顆粒(lì)數可(kě)高達2.9*106pcs/人.min,穿普通手術服,做踏步動作(zuò)時,散(sàn)發的微生物可達約2400CFU/人.min。
控製人(rén)員散發(fā)的汙染,首先是控製(zhì)進入潔淨室的人員數量。與生產、科研無直接關係、未經潔淨室工作人員守則培(péi)訓的人員(yuán),一律不得進入潔淨室。進入的人員要遵循潔淨室工作守則,整(zhěng)齊穿(chuān)著(zhe)潔淨室工作服,戴(dài)工(gōng)作手套、頭罩、穿靴子,經潔淨通道進入。
除盡可能降低人員散發的汙染物(wù)外,空調淨化送風的氣流也是有效稀釋(shì)、疏導並排出人(rén)員散發(fā)的汙染物的重(chóng)要(yào)手(shǒu)段。例如人員(yuán)行走(zǒu)的通道是散發汙(wū)染物的主要位置(zhì),在該處(chù)設置回、排風口,使其處於室內下風向,以盡量減少(shǎo)人員所散發(fā)的汙染物(wù)擴散到(dào)潔淨車間(jiān)的其它區域。又如關鍵工序部(bù)位設置在潔淨室中非操作人員不易(yì)到達之(zhī)處,以減少額外的人員汙(wū)染。
6、控製工藝(yì)設備及工藝的產塵
潔淨室內的(de)工(gōng)藝設備應選料精良,光潔耐磨,轉動、滑動部位格外重要,要盡可能減少磨損及產(chǎn)塵。對於那些產塵的工藝過程要盡可能的將其封閉或設置圍擋,並輔以排風,形成(chéng)局部範圍相對於潔淨室的負壓,以限製汙染物向潔淨室其它區(qū)域擴散。
對室內的機(jī)器設備定(dìng)期進行(háng)清潔、擦拭是必要的製(zhì)度(dù),也是減少積塵二次(cì)飛揚的有效措施。
7、進入潔淨室的材(cái)料與部件(jiàn)的清潔
潔淨室的產品和產品的原材料、產(chǎn)品的容器和包裝材料都要使用不(bú)產生(shēng)汙(wū)染(rǎn)的(de)材(cái)料。這些材料的生產製造也應在對產品汙(wū)染相(xiàng)對較小的環境中(zhōng)進行。例如,大輸液(yè)塑料瓶的注塑車間等,宜維持一定的潔淨級(jí)別,以減少大輸液灌(guàn)封工序環境的汙染負荷。