潔淨室（shì）檢測常用的儀器儀表

一般計量儀（yí）表的精確（què）度是分級的，對（duì）於1級儀表，其誤差限是大量程的1%。例如：對於大量程為100℃的溫度計，其誤差為±1℃；對於大量程為30℃的溫度計，其誤差為±0.3℃。如果被測量的溫度是20℃，使用大量程為100℃的1級溫度計，測得值的相對誤差為±5%；使用大量程為30℃的1級溫（wēn）度（dù）計，測得值的相對誤差為±1.5%。由此可見，使用精確度等級相同的儀表，由於大量程不同，其測得值的相對誤差的差別（bié）很大。因（yīn）為同等精確度下大量（liàng）程越大誤差越大，所以（yǐ）在可能的條件下（xià）應盡（jìn）量選用量（liàng）程較小的儀表。
1、溫度計
溫度計有多種，其中玻璃溫度（dù）計的可靠性較好。如果潔淨室內使用其他類型的溫度計，應該另外準備一個精確度較高（gāo）的玻璃溫度計，作為校準其他溫度計的比對性標準器。
（1）玻璃溫度計。玻璃溫度計是根（gēn）據液體熱（rè）脹冷縮原理製造的（de）。常用的液體是酒精或水印。這種溫度計雖然準確可靠，但（dàn）反應較慢，讀數不（bú）直觀，不適（shì）合用於自動控製。玻璃溫度計讀數時應注意不能用手直接（jiē）接觸液體球的外壁，讀數時（shí）眼睛應該平視。
（2）數字溫度計。數字（zì）溫度計的原（yuán）理有多（duō）種，優點是讀數直觀，適合於自動控製，但（dàn）有（yǒu）時可靠性較差。
2、濕度（dù）計
（1）幹濕球濕度（dù）計。液體揮發會吸收熱量，致（zhì）使溫度下降；濕度越低，液體揮發得越快，溫度下降得越多（duō）。根據這個原理製造（zào）出幹濕球濕度計。幹（gàn）濕球濕度計具有結（jié）構簡單、價格低廉的優（yōu）點，但讀數比較麻煩，不適合用於自動控製。
（2）毛發濕度計。毛發濕度計是根據脫脂毛發隨濕度變化而變化的原理製造出來的。指針式的毛發濕（shī）度計結構簡單、價（jià）格低廉，但不適合用於自動（dòng）控製。
（3）露點濕度（dù）計。露點濕度計的（de）原理是首先測定露點溫度，根據露點溫度對應的（de）飽和水蒸氣分壓力與幹球溫度對應的飽和水（shuǐ）蒸氣分壓力計算相對濕度。通過直接觀察確定是否結露的準確（què）度較差，根據鏡麵反射光的強度確定是否結露的準確度較高。所以有直觀的露點濕（shī）度（dù）計（jì），還有光電（diàn）式露點濕度計。使用溫度傳感器（qì）測定露點溫（wēn）度的光電式露點濕度計不僅精確度高，而且可以實現數字顯示。
（4）電容濕度計。電容濕度計的原理是：高分子薄膜吸收或釋放水（shuǐ）分（fèn）子的時候電（diàn）容值發生變化，測定高分子薄膜的電容值可以確定空氣的濕（shī）度。常用的高分（fèn）子材料是丁酸纖維素。電容濕度計可以用數字顯示濕度，便於監測和控製。
（5）電阻濕度計。電（diàn）阻濕度計的原理是：金屬氧化物燒結而成的多（duō）孔狀陶瓷體或高分子材料吸收或釋放水分子的時候電（diàn）阻值發生變化，測定該（gāi）多孔（kǒng）狀陶瓷體或高（gāo）分（fèn）子材料的電阻值就可以確（què）定空氣的濕度。用氧（yǎng）化鎳（niè）陶瓷製造的濕度（dù）傳感器壽命長、穩定（dìng）性好，應用（yòng）較廣泛。電阻濕度計也可以用數字顯示濕度，便於監測和控製。
3、氣壓計
（1）U形氣壓計。加入液體後，一頭與大氣連通，另一頭與被測的（de）氣體連通，利用兩個玻璃管中的液麵差測（cè）量氣壓（yā）差。結合已知的大氣壓數值，可得到被測的氣壓值（zhí）。U形氣壓計中常用的液體是純水、水（shuǐ）銀、乙醇（chún）等。同（tóng）樣長度（dù）的U形氣壓計，液體的密度（dù）越大（dà），量程越大，精確度越低（dī）；液體的密度越小，量程越小（xiǎo），精確度越（yuè）高。所以，應（yīng）該根據量（liàng）程和精確度選用適當的液（yè）體。
（2）斜管微壓計（jì）。可以理解為U形氣壓計的變形。一般情況下，U形氣壓計的玻璃管垂直讀數，斜管微壓（yā）計的玻（bō）璃管傾斜讀數。玻璃（lí）管傾斜後，同樣的壓差在（zài）玻璃管中（zhōng）顯示的距離較大，讀數的精確度較高。所以與U形氣壓計（jì）比較，斜管微（wēi）壓計的讀數精（jīng）確（què）度要高一些。
（3）精密微壓計。此儀器結構比較複雜，雖然也是用純水顯示壓力，然而采用放（fàng）大鏡瞄準、螺紋微調、遊標讀數，可以達（dá）到更高的（de）精確度。
（4）彈性氣壓（yā）計。此儀（yí）器（qì）是利用（yòng）物體彈性製造的氣壓計。彈性氣壓計種類繁多，應用範圍廣泛。
（5）壓差計（jì）。壓差計與壓力計經（jīng）常是可以通用的。有時可以測出壓力計算出壓差，有時又可以測出壓差計計算（suàn）出壓力。U形氣壓計就是一種典型（xíng）的通過（guò）測（cè）壓差計算壓（yā）力的儀器。
（6）電子壓力（lì）計（jì）。此儀表一（yī）器般是通過壓力傳感器、電子線路和顯示器（qì）直接用數字顯示壓力的數值。
4、風速計
（1）熱效應風速計。熱效應風速計（jì）分熱線風速計和熱球風速計（jì）兩種。這兩種風（fēng）速計的原理和和結構相似，其特點是靈敏度較高、穩定性較差。
（2）旋翼式風（fēng）速計。旋翼式風速計有一定的摩擦阻力。以前摩擦阻力（lì）較大、靈敏度較低，隨著技術的（de）進步，阻力減小，靈敏度提高，應用範圍越來越大。
（3）氣壓風速計。氣壓風（fēng）速計的原理是根（gēn）據氣體的動壓確定風速。一般使用皮托管和微壓計測定氣流的靜（jìng）壓和（hé）全壓，用全壓減去靜壓（yā）得到動壓。這種測（cè）定方法的可靠性（xìng）較高，但是比較麻煩（fán），而（ér）且要求壓力計的靈敏度較高。
5、風量計
（1）罩式風量計。可以使用風速計測量（liàng）風向垂直（zhí）截麵上各點的風速，取平均值（zhí）乘以（yǐ）截麵積得到風量（liàng）。根據這個原理，將多個風速計組合在一起製造（zào）出（chū）罩（zhào）式（shì）風量計，可以直接測定風量。
（2）浮子流量計。浮子流量計也稱為轉子流量計，是一種常用的氣體流量計。一般情況下，浮子流量計用於測量中等流（liú）量的氣流，如10～500L/min。
（3）皂膜流（liú）量計。皂膜流量計也是（shì）一種常用的流量計（jì）。一般多用於測量小流量（liàng）的氣（qì）流（liú）。
6、聲級計
聲（shēng）級（jí）計是根據聲音振動的能量確定噪聲的聲級，其顯示方（fāng）式有指針式和數字式兩種，新（xīn）製造的多是數字式（shì）。
7、照度計
照度計根據照射到的光的能量確定（dìng）照射光的強度，一般用數字顯示照度值。