靜電和離子生成器測試儀（yí）表

潔淨室或其它受控環境對內圍護結構材質的物理、化學穩定性要求（qiú）較高。相應而來的問題是地麵麵層雖光潔、柔韌、耐磨，但導電性能是否符合要求，會不會聚集靜電圍護結構麵層。特別是地麵（miàn）靜電聚集、其危（wēi）害是（shì）多方麵（miàn）的，包括損壞電（diàn）子（zǐ）設備、儀器、擊傷人體、導致火災、爆炸等，對於電子工業尤為嚴重。國家標準GB 50073-2001規定，地麵麵層（céng）應采用靜電耗散型材料，其表麵電（diàn）阻率應為1.0*10⁵～1.0*10¹²Ω或體積電阻率為1.0*10⁴～1.0*10¹¹Ω.cm。地麵應設有導電泄放（fàng）措施和接地構造，其對地泄放電阻值應為1.0*10⁵～1.0*10⁹Ω。有關防靜電係統測試方麵的要求，可參考國內電子行業標準SJ/T10694《電子產品和製造防靜電係統測試（shì）方法》。
國家行業標準JGJ 71-90《潔淨室施工及驗收規範》對地麵、牆麵及工作台麵的導靜電性能，推薦采用符合精（jīng）度（dù）要求的高阻（zǔ）計，在（zài）被測表麵上選定代表區域的兩點間，按下圖所示方法進行測試。


ISO 14644-3對靜電測試（shì）相關儀器給出了以（yǐ）下技術（shù）要求：
1、靜電電壓計
靜電電壓（yā）計用以測量ɑ區域內的平均電壓或電位，對其技術要求如下表所列。
對精密電壓計的測量技術要求：
   

對手（shǒu）動式靜電電壓計或靜電場強計的測量技術要求：


2、高電（diàn）阻歐姆表
高電阻歐姆表用（yòng）以測量絕緣材料和部件的電阻，其方法是探測從一施加高壓的部位到被測部（bù）位（wèi）的漏電電阻，對其技（jì）術（shù）要求及（jí）附加技術要求如下表所列。
高電阻歐姆表的測（cè）量技術（shù）要求：


高電阻歐姆表的測量附加技術要求：

3、充電板檢測儀
充電板檢測儀用以測量電離器或（huò）離子化裝（zhuāng）置的中和特性。測試的目（mù）的是評估雙極離子生成器的性能，測試內容通（tōng）常包括兩個方麵：
（1）測量放電時間，用以計算離子生成器消除靜電荷的效率；
（2）測量補償電壓，用以評估在離子生成器生成的離子化氣流中正負離子的不穩定性。離子的不穩定會造（zào）成不利的殘餘電壓。