進入無塵室的（de）材（cái）料、設備等物品管理（lǐ）要求

一、無塵室用材的選擇
1.必須仔細選擇（zé）無塵室的（de）各種（zhǒng）用材，確保它們不（bú）會對室（shì）內造成汙染。無塵室內經常使用的材料與設備舉例如下：
1)生產中使用的材料：在微電子工業中使（shǐ）用的矽晶片；
2)產品包裝材料：如玻璃瓶、塑料瓶、塑料袋、預製的盒子等；
3)工藝設備和機器；
4)對設備和機器進行維修（xiū）、校準、修理的工具以及轉動設備的潤滑劑等；
5)人員服（fú）裝，如潔淨工作（zuò）服、手套、指套、口罩（zhào）、頭罩等；
6)無塵（chén）室清潔用品，如抹布與拖把；
7)消耗性（xìng）用品，如書寫紙張、圓珠筆、標簽（qiān）、棉簽。
在大多（duō）數無塵室中粒子和纖維都是（shì）環（huán）境汙染的主要來源。所以，應（yīng）避免在生產工藝中使用容易（yì）破損或散（sàn）發粒子的材料。其表麵帶有（yǒu）粒子和纖維的材料也應避（bì）免使用。
在半導體工業中，產品表（biǎo）麵的化學品（pǐn）和空氣環境中的（de）某些氣體（tǐ）分子可能形成的化合物，會沉積在半（bàn）導體的表（biǎo）麵上，它們可（kě）能影響產品質量，甚至損壞半（bàn）導體芯（xīn）片。
在（zài）一些無塵室中，那些無法將靜電不斷地傳導開的材料，可能會因為靜電荷的積累和放電使那些對靜電敏感產（chǎn）品會受到損壞。此外，靜（jìng）電還會使材料（liào）產生靜電吸（xī）附效應而吸附粒子，造成汙染問題。
選擇用於無塵（chén）室內（nèi）的（de）生產材料，不僅僅要著眼（yǎn）於適合於生產工藝，而且也應關注是否有可能產生（shēng）汙染。顯然（rán）對那些（xiē）既可（kě）能構成汙染，但又是生產（chǎn）所需的材料和物品，隻有在缺之不可的情況下才能使用，或隻有在已經充（chōng）分認識到了這些材料產生汙染的問題，並考慮了其他替代材料（liào）但（dàn）又確實都不適合後，才可使用。
2.以下所列舉的部分乃至全部物品（pǐn），因其會（huì）造成無塵室的嚴重汙染，根據產品對汙染的敏感性（xìng）不同，一般（bān）禁止在無塵室中（zhōng）使用。
1) 非無塵室紙，如果一定要使用普通紙，應將其放入塑料袋內或采（cǎi）用雙麵熱塑；
2) 鉛筆與橡皮（pí）、墨水中含有汙染無塵室環境的化學品、纖維（wéi）頭書寫筆或者會劃紙的圓珠（zhū）筆、修改液；
3) 用低碳（tàn）鋼或（huò）其他會生鏽、磨蝕、氧化的（de）材料製成的（de）物品；
4) 用機（jī）器加工或處理時會冒煙或破損的物品；
5) 用木頭、橡膠、紙張、皮（pí）革、毛、棉及其他天然（rán）材料製成的易破（pò）損物品；
6) 研磨材料或粉末、產生氣溶（róng）膠的瓶瓶罐罐；
7) 不適合於（yú）在無塵室中使用的（de）一次性物品，如棉簽、膠帶、標簽；
8) 無塵（chén）室人員不得將個人物品帶入無塵室內。
二、外部供（gòng）應的物（wù）品及其包裝（zhuāng）
1.外供物品宜在潔淨環境中產（chǎn）生
供應無塵室的物品（pǐn）要求在潔淨環境（jìng）中生產，其潔（jié）淨度標準宜與產品所供應的無（wú）塵室相同。如（rú）果（guǒ）外部（bù）供應物品交付時不能達到適當的清潔（jié）水準，則必須在無塵室中對其加以清潔，但這樣做的效（xiào）果可能差些。有越來越多的公司在潔淨環境中製造供應無（wú）塵室（shì）生產所需的零部件，無塵室管理人員應該（gāi）向本企業采購部門強調，要關注無塵室物品（pǐn）供應商的生產環境。應盡量選擇質優價（jià）廉，又是在相應潔淨（jìng）環境（jìng）中生產的無塵室（shì）用品，以保證本企業潔 淨室的潔淨度和減少清潔（jié）外供（gòng）物品（pǐn）的耗費（fèi）。
參觀考察供應商的生產設施並檢查（chá）其生產環境（jìng）是很必要的。外供（gòng）物品生產廠家可能並不熟悉無（wú）塵室技術。所以，對他們的（de）生產工藝的一些（xiē）簡單建議和改進，就可（kě）能（néng）產生不錯的效果。即使製造廠（chǎng）家不具備潔淨生產環境，但隻要有（yǒu）較高（gāo）水（shuǐ）平的潔淨管理（lǐ）條件，使用無塵室（shì）用（yòng）的手（shǒu）套、抹布、不起毛的服裝等，也可大大提高產（chǎn）品的質（zhì）量（liàng）。
2.外供物品的包裝材料
應注意產品的存儲和包裝。如果加（jiā）工的產品（pǐn）從生產（chǎn）設備上取下後立即用合適的潔淨包裝方式包裝好，則周圍較差的生產環（huán）境對產品的影響就可（kě）以（yǐ）降至zui小（xiǎo）。
外供物品的包裝（zhuāng）方法和包裝材料必須考慮所供應的無塵（chén）室的潔淨度等級，包裝的尺度、外形均應符合貯藏、運輸（shū）、開箱過程中防汙染的要求，對包裝材料的主要要求有以（yǐ）下幾點：
1)包裝材料的無汙染（rǎn）性：要求包裝材（cái）料本身不（bú）產生粒子、纖維、汙染氣體及蒸汽（qì）等（děng）， 不明顯地帶靜電，不與包裝品產（chǎn）生化學反應；
2)包裝材料必須（xū）使用（yòng）能夠清潔（jié）到（dào）包裝物品所要求的潔淨度的材料；
3)材料的強度及耐久性：包裝材（cái）料應承受溫濕度、外部作用力和紫外線等影響，能夠保證（zhèng）所要求的密封性，避免運輸、存放（fàng）過程中破損而汙染，以（yǐ）致將（jiāng）汙染帶入無塵室中。
無塵室外供用（yòng）品的良好包裝，不僅可以避免產品在運（yùn）輸途中的損壞，也可以zui大限度地避免產品受到外部環境（jìng）的汙染。常使用的塑（sù）料材料為塑料薄膜或預製的包裝（zhuāng）塑料。塑料材料與其他許多材（cái）料相比，粒子、纖維、化學汙染較少。塑料（liào）汙染的大小取決於所使用的塑料種類、製造（zào）方法以及包（bāo）裝方式。所以，對所用塑料包（bāo）裝是否適（shì）宜也要（yào）進行檢驗。有些塑料會產生靜電，從而可能損壞產品。如果使用防靜（jìng）電塑料，它對粒子及纖維的 吸附作用也較小，因此也更潔（jié）淨。如果需要控製（zhì）分子汙染的話，則有些塑（sù）料包（bāo）裝材料（如 PVC包裝材料），可能就不適用了。
3.外供物品的包裝方（fāng）式
還要（yào）考（kǎo）慮的是需要幾層包裝。如果無（wú）塵室用的物（wù）品采用的是多層包裝，就可以在其運往無塵室的過（guò）程中一次打開一層逐步拆裝，這就可以保證物品送至無塵室時是較潔淨的。對外包裝用真空吸塵器吸掃外表麵及（jí）用潮（cháo）濕抹布擦拭，有助於保（bǎo）持其清潔，特別（bié）是在將（jiāng）產品（pǐn）運往無（wú）塵室的開（kāi）始階段，尤其如此。隨著產品逐步進入無（wú）塵室，外包裝（zhuāng）也變得越來（lái）越潔淨，相對而言外包裝的清潔工（gōng）作就（jiù）顯得不那麽必要了。
包裝物品有各種各樣的正確方法。不同的物品、不同的用途、材料傳遞氣閘室的不同（tóng）設計等使得包（bāo）裝方法也（yě）有很大區別。所以，無塵室的管理人員必須規定適用的（de）包裝材料，規定所需物品在進入無塵室的過程中對包裝進行清潔和打開各層包（bāo）裝的規程。
三、通過氣閘室傳遞物品和小（xiǎo）件設（shè）備
任何無塵室都不免要和其他低潔淨級別區或非潔（jié）淨區發生物品傳遞（dì）的（de）情況，減少傳遞過（guò）程中汙染物（wù）的侵入是（shì）重要的日常管理工作。通常使用氣閘室、緩衝間以避免無塵室外的空氣直接進入無塵室內。在氣閘室的兩個門均關閉時，從外走廊在開門時侵入的汙染以及使用氣閘（zhá）室的人所散發出的汙染，均被氣閘室的送風所稀釋。材料傳遞氣閘室的兩個門如同人身淨化的吹淋室一樣（yàng），一般（bān）都是聯鎖的。這樣就可以確保一扇門關閉之前（qián）另一扇門是不能打開的，可采用電氣聯鎖，也可以是機械聯鎖。這樣就可以防止外部較低潔淨級別或非受控區的空氣直（zhí）接進人無塵（chén）室。粘墊則放在氣閘室人口處，或者（zhě）氣閘室內。粘墊的作（zuò）用是防止鞋底或推車輪子上粘附（fù）的汙染轉（zhuǎn）移到無塵室內。氣閘室也用來防止材料表麵及其包裝（zhuāng）上的汙染物帶入無塵室。以下介紹了兩種通（tōng）過氣閘室傳遞材料的方（fāng）法。一種是“有台”式材（cái）料物品傳（chuán）遞氣閘室；另一種是“無台”式材 料物品傳遞氣閘室。可根據所傳遞的材料物品及傳遞的安全性選用（yòng）。
1.帶傳遞台（tái）的氣閘式傳遞（dì）室
“有台（tái）”式材料物遞氣（qì）閘室是（shì）將供應（yīng）品安全地傳遞進無塵室的方法之一。這種方式就 是由傳（chuán）遞台將氣閘室分成“較髒”與“清潔”兩個區，這種方法適用於傳遞較輕、可以由人力搬動的材料和設（shè）備。
使用傳遞台傳遞物品的方法（fǎ）如下：
1)清潔傳遞台：先（xiān）將非受控區一側的門打開，搬運材料或（huò）設備的人員，從較低潔淨級別或非受（shòu）控區進入氣（qì）閘室。氣閘室地麵鋪有粘墊或粘毯（tǎn），這樣，從外麵地板向內轉移（yí）的 汙染就可以zui少。搬運人員按規定方法對傳遞台進行清潔，必要時對其進行消毒，進行清（qīng）潔工作時要（yào）注意，較長的傳遞台麵被分為兩個區域，靠無塵室一側（cè）為“清潔”區（qū），靠較低潔（jié）淨（jìng）級別（bié）或（huò）非受控區一側為“拆包（bāo）”區。
2)送入傳遞物品並拆包：完成清潔工作後，搬運人員將帶包裝的物品送人氣閘室。但不得把紙（zhǐ）板箱的（de）包裝材料帶入氣閘室內，因（yīn）為它們會散發較多粒子，易造成交叉汙染。 將（jiāng）帶（dài）著塑料包裝的物品送人（rén）氣閘室後，將其放置在傳遞台的“拆（chāi）包（bāo）”區一側，即所謂的 “帶包（bāo）裝”側或“髒（zāng）”側。隨即對包裝進行清潔，然後拆開包（bāo）裝。其具體清潔方法根據使用物品的無塵室的標（biāo）準而定，別潔淨室（shì）要求“精潔淨”，一般無塵室要求則略（luè）低。然 後把物品放置於傳遞台（tái）的另一側，即所謂的“包裝已拆”側或“潔淨”側。將物品從外部區域送人氣閘室內的人員攜帶裝置外包裝的容器，關上通往外部區域的門，離開氣（qì）閘（zhá）室。
3)氣閘室充（chōng）分自淨：讓氣閘室處在無人狀態下數分鍾（zhōng）的時間，以便將汙染（rǎn）降至這（zhè）樣 的濃度：當無塵室一邊的門打開時，無（wú）塵室不會受到大的影響。為實現這一目的，可安裝內外門的聯鎖計時裝置或指示燈。當無塵室側門自動打開或（huò）指示燈點亮後，無塵室的（de）人員進人氣（qì）閘室，拿起物品後離開氣閘室。
2.無傳遞台的傳遞區
如果（guǒ）需要將大（dà）的重型設備或機器進出無塵室，則常常使用不（bú）帶傳遞台的氣閘室（shì）。但不帶傳遞台（tái）的氣閘室作為傳遞區使用（yòng）時，其安全度一般低於帶傳（chuán）遞台的氣閘室。
其工作程序如下：拆除用紙箱等包（bāo）裝的無塵室用品放在一（yī）清淨小車上。小車從外（wài）部的非受控區推入傳遞用氣閘室（shì），人員隨即離開。來自無塵室的人員進入氣閘室並取（qǔ）到供（gòng）應的材料。如果該（gāi）材料 較重，不得（dé）不將小車推入無塵室。在將小車推人無塵（chén）室以前，必須在氣閘室內對其進行清潔。如果材料不（bú）那麽重的話（huà），則可將材料轉移到從無塵室推過來無塵室的材（cái）料轉運小車上。清潔或拆除材料的包裝，或先清潔再拆除包裝。然後，將載（zǎi）有材料的潔淨小車推（tuī）入無塵室，無塵室的門隨後關閉。如果有物品需要帶出，外來的小車可暫時留在氣閘室。如果有更多的供應（yīng）物品需要運入，外來的小車即可離開氣閘室。當把無塵室的小車推人無塵（chén）室前，可（kě）以考慮使用無塵（chén）室粘墊或粘毯（tǎn）清除小車輪子上（shàng）的汙染（rǎn）物。
四、無塵室固定設（shè）備的進入、安裝與（yǔ）維修
對於那些進入無塵室就位後就同定不動或相對（duì）同定的大型設（shè）備，例（lì）如無塵室生產工藝用的自動機械加工設備、隔離性（xìng）裝置、排風罩等，這類固定設備（bèi）通常處在無塵室關鍵工序 的周（zhōu）圍，它們一旦被安裝到位，再次移動不僅十分困難，並對無塵室的環境條件也影響較大。對於（yú）這類無塵室的大型設備，首先要求供貨商在生產製造時，務必在潔淨環境中，而且其包裝材料（liào）、方法也應符合無塵室的要求。
1.固定設備（bèi）進入（rù）的程序
為了避免發（fā）生大型固定設備進入“動態（tài）”無塵室，也就是說（shuō）無塵室已投付正式運行， 還要進入大型固定設備，應該（gāi）在管理（lǐ）計劃中（zhōng）盡可能（néng）排出。因為在這種特殊情況下，無塵室按ISO14644-2 “證明持續符合ISO14644 -1的測試和監測（cè）技術條件”的規定要重新認證無（wú）塵室，其工作是（shì）相當繁雜的。
正常情況下，通（tōng）常是在空態或靜態（tài）條件下將（jiāng）固定設（shè）備送入（rù）。把設備送入無塵室時，應該關注（zhù）的問題是（shì）：整個過程都不應（yīng）增加對環境的汙染。
解決大型部件運進運出的（de）辦法就是設計一個大型物流氣閘室（shì）。它足以將每（měi）件設備運進運出無塵室。如果條件允許，設計無塵室時，宜考慮采納（nà）這個方案。
設備進出（chū）無塵室的（de）另一設計方案是在（zài）無塵（chén）室的牆上開一組雙門，大得足以容納機器、大型設備（bèi）件的通行。由於（yú）這樣（yàng）的通道有可能直接與外走廊相通，因此必須鎖（suǒ）住，隻有設備需要進入時（shí）才打開。有些類型的牆板模塊可以取下來再安裝好又不對牆造成損壞，這樣（yàng）的話（huà），就不需要另開（kāi）門洞。
2.可在無塵室內牆一（yī）側建一個臨時氣閘室
所有（yǒu）準備進入的（de）設備都（dōu）要檢查在運輸中有無損壞，有損壞的設備應該（gāi）在無塵室外隔離（lí）保（bǎo）護起來，待供貨商修複或另行處理。運輸用的板條箱、硬紙（zhǐ）板等應該在鄰近無塵（chén）室的未受（shòu）控區內拆（chāi）封，然後再運進（jìn）受控環境。如（rú）果沒（méi）有包裝，則（zé）設（shè）備的所有表麵都應該予以清潔，然後再運進潔淨區。理想的方法是在設備氣閘室內進行設備（bèi）清潔，當設備過大時，宜於在氣閘室或無塵室附近臨時專門修建的房間（jiān）內拆掉zui外麵的薄膜材料，作進人無塵室前的清潔工作（zuò）。
拆包步驟如下：
1)對設備外護層用吸塵設（shè）備進行清潔，從頂部開始，向兩（liǎng）側擴展；
2)用適當的清潔劑（jì）擦拭外護層；
3)從（cóng）設備外護層的頂部撕開一（yī）個“工”型或“X”形切口，從頂部（bù）向下剝離外護層；
4)如果有多層（céng）包裝，每層包裝膜都要按2)、3)程序重複進行；
5)所有運送設備人員進入氣閘室前都（dōu）要穿上適當的潔淨服；
6)所（suǒ）有移動用、搬運（yùn）用的設備都應在氣閘（zhá）室內（nèi）進行清（qīng）潔；
7)在打開氣閘室靠無塵室一側的門運入設備前，應先清潔氣閘室。
3.通過傳遞窗傳遞（dì）材料
除了物流氣（qì）閘（zhá）室外，還有其他方法可將材料傳遞入（rù）無（wú）塵（chén）室內供（gòng）使用。將小（xiǎo）型的物件傳 進傳出無塵室通用的辦法就是使用傳遞窗。傳遞窗的（de）工作方式（shì）與物流氣閘室相似，將物品傳遞入（rù）無塵室，大致通過下述的（de）步驟（zhòu）：
1)在無塵室外麵的人員打開（kāi）傳遞窗的（de）小門，對傳遞窗進行（háng）清潔；
2)打開（kāi）物品的（de）一層包裝，將物（wù）品放入傳遞窗內；
3)關閉傳遞窗的小門；
4)在傳（chuán）遞（dì）窗另一邊的人（rén）員打開傳遞窗（chuāng）的（de）內門，取（qǔ）出物品。對取出的（de）物品進行清潔。 在汙染控（kòng）製要求嚴格的場合，則（zé）再打開物品（pǐn）的另一層包裝。傳遞窗一般都帶有電子或機械的聯鎖裝置，防止兩個小門被同（tóng）時打開，這樣可防（fáng）止外部空氣流入無塵室。有時將傳遞（dì）窗建在與地麵水（shuǐ）平的（de）位置，便於較重的（de）物品通過傳遞窗。
4.固定設備運入的（de）機械
如有可能，大型設備應該臨時拆卸為能安全進人無塵室的組件，使無塵室設備運入過（guò）程的風險（xiǎn）降低。因為這些大型裝設搬運中，與無塵室圍護結構（gòu）表麵接觸（chù）時，可能發生磨損、撞傷，並產生汙染。
所有用於大設備、組件（jiàn）的提（tí）升、牽引或定位的設備（bèi），在（zài）進入無塵室前必（bì）須*清潔。這（zhè）類設備多數不是專為無塵室使用而設計（jì）、製造的，應*地檢驗有無膜屑，表麵剝落狀況（kuàng）或不宜進入無塵室的材料。
通常宜用與無塵室級別相適應的塑料（liào）薄膜或帶子包裹或密封這些設（shè）備的（de）外表麵。設備如橡膠輪，宜用無塵室塑（sù）膠帶包嚴，以免在地（dì）麵上下橡膠或塑料微粒。
5.固定設備的安裝程序
zui有效的措施是在設備安裝階（jiē）段用（yòng）臨（lín）時的隔牆（qiáng）或隔斷把設（shè）備所（suǒ）在位置與無塵室隔離開來。為不妨礙設備安裝，在設備周圍應留出足夠（gòu）的空（kōng）間，但同時也要注（zhù）意隔離區空間適度，不宜過大。操作程（chéng）序及其他注意事項如下：
1) 設備應盡可能通過服務通道或其他非關鍵區（non-criticalarea)進人隔（gé）離區（dis- olation area),如不（bú）可能則應采取措施盡量減少汙染。
2) 該隔離區的氣壓相對於（yú）周邊應維持中性或負壓。*封閉（bì）的隔離區則應該截斷區內的潔淨空調送風，以減少安裝時產生的汙染物向外擴散。 
3) 應該（gāi）事先製定計劃，明確對隔離區和（hé）周圍區域監控的方法和（hé）頻率，確保能（néng）及時發現汙染物由隔離區向外（wài）滲透的情況。
4) 設備（bèi）就位後，在架設各種動力設施，如電、水（shuǐ）、氣體、真空、壓（yā）縮空氣和排水管道（dào）時，應采取措施控製操作過程產生的煙氣和殘渣，避免汙染周圍的無塵（chén）室，也有助於減輕拆除隔斷時的清潔工（gōng）作量。
5) 在設（shè）備安裝工作（zuò）完成後，清除（chú）隔離區內的汙染，牆、地麵、設 備等（děng）所有表麵（miàn）都要用（yòng）真空吸塵器清掃、清理和擦拭。要特別注意設備護板後麵和下麵區域的清潔（jié）。
6) 在隔離區清潔工作完成後，可以進行設備的試運行和設備性能的（de）初（chū）步測試，但（dàn）zui後驗收的測試，則（zé）需要*具備（bèi）無塵室的條件方可。
7) 經仔（zǎi）細分析（xī），選定對無塵室內的正常工作幹擾（rǎo）zui少的時間拆（chāi）除（chú）隔斷（duàn）牆。在小（xiǎo）心地（dì）拆除隔斷（duàn）牆的同時，隔離區內原被臨時阻（zǔ）斷的送風（fēng）口，開始（shǐ）恢複送入潔淨空氣。此過程中，宜於（yú）隨時監測周邊離（lí）子濃度的變化。
8) 清理隔斷後，設（shè）備所處（chù）位置恢複（fù）無塵室正（zhèng）常狀態，開始對設備內部和關鍵工（gōng）序部位進行（háng）進（jìn）一步清潔和作投人使用的準備（bèi）。
9) 對設備（bèi）所有內腔和所有與（yǔ）產品接觸表麵，也（yě）包括產品裝（zhuāng）卸的表麵，都要進行擦拭， 使之達到要求的潔淨度水平。設備清潔順序應是從頂到底。如果清（qīng）潔過程中有顆粒物散出，則較大的粒子（zǐ），在重力作用下將（jiāng）落到設備底部或（huò）地麵。
10) 再（zài）次清潔設備外部，其順序也（yě）是從頂至底。
11) 必要時，應（yīng）檢查（chá）產品或工藝要求非常關鍵區域的表麵粒子情況（kuàng）。
6.固定設備的（de）維護與維修
任何設備都需要定期維護或臨時維（wéi）修。對（duì）此項（xiàng）工作的指導原則是：無論設（shè）備進行維護或（huò）維修時，都不（bú）能造成對無塵室（shì）的汙染。維護、維修工作完成後（hòu）要清除設備外表麵（miàn）的汙染，按工藝要求，必要時還（hái）要清除（chú）內表麵的汙染。
1)如有可能，凡要進行維修的設備應先移出無塵室再維修，以減少汙染產生的可能性；
2)如果必要，應將需要維護的固定設備與周圍的無塵室隔離開來，再進（jìn）行主要的維（wéi）護或維修。或者采取把所有正在製造（zào）的產品移往適當位置的措施；
3)正在維護、維修設備相鄰的無塵室區域（yù），應適當加強（qiáng）監控（kòng），以保證有效地控製汙染；
4)在隔離（lí）區內進行維修、維護（hù）的（de）工（gōng）作人員，不應與無塵室的生產或操作人員發生接觸；
5)進人無塵室的維護或維修人員，應遵循該（gāi）潔淨區的規範，包括穿著適當的工作服及維修完成後對該區和設備清潔應達到要求；
6)如果技術人（rén）員（yuán）需要躺下或爬到設備下麵去維修，應該先確定工作條件是否適宜，應（yīng）在進行化學品、酸或生物危險品有效中和或適當處理後（hòu），再開始維修工作；
7)應采取措施保護維修（xiū）人員的潔淨服不（bú）接觸到設備上的潤滑油或工藝用化學品等汙染物，還應避免潔淨服被設（shè）備、工作的銳邊撕裂、捅破；
8)進行維護或維修（xiū）工作用的全（quán）部工具、工具箱、小（xiǎo）車等，在進入無塵室（shì）前都應*地（dì）清（qīng）潔（jié），不允許帶入任何鏽蝕的工具。如（rú）果進人生物無塵室，則還可能要求滅菌或消毒；
9)維修技（jì）術人員應避免把工具、各（gè）種零配件、損壞的零部件或清潔用（yòng）的工具材料等任何物品，放置在產品或工藝材料用的工作表麵附近；
10)維修工作過程中應該注意清潔，隨（suí）時進行清潔工作，定期地更換手套，避免因手套破損（sǔn），維修人員的皮膚接觸設備潔淨（jìng）表麵的情（qíng）況發生；
11)如果要求使用耐酸、耐熱或耐切割型的（de）非無塵室手套，那麽這些手套應符合潔淨室要（yào）求或另套一副無塵（chén）室手套（tào）；
12)如需進行鑽、鋸（jù）作業時，應使用的罩蓋，把工具和進行鑽、鋸的區域（yù）遮蔽起來，同時使用（yòng）無塵（chén）室真空除塵器，及時（shí）吸走揚塵。
13)在地麵、牆麵、設（shè）備側板或其（qí）他表麵鑽孔後（hòu），留下的縫隙、孔洞，要采取密封措 施，如用填料、粘合劑和特殊製造的板堵塞，以防止汙染物經孔洞、縫（féng）隙擴散到無塵室內。