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為什麽要(yào)對(duì)超淨工作台過濾器進行(háng)DOP檢(jiǎn)漏試驗

更新時間:2021-07-15  |  點擊率:2775

1.概述:過濾器及(jí)其安裝如存在缺陷,如過濾器本身有小孔洞或者安裝不嚴密形成微小裂縫(féng),都會導致達不到預定的淨化效果。因此,過(guò)濾器安裝或更換(huàn)後,必須對過(guò)濾器和(hé)安裝連接處進行檢漏。
2.檢漏目(mù)的:通過(guò)測試過濾器的泄漏量,發(fā)現過濾器及其安裝的缺陷所在,以便采取補(bǔ)救措施。
3.檢漏範圍:潔淨區、層流工作台以及設備上(shàng)的過濾器等。
4.檢漏方法:常用的是DOP法檢漏(即采用DOP溶劑作為塵源,與氣溶膠光度計配合檢漏),也可用塵(chén)埃粒子計數器掃描法來檢漏(即采用大氣塵作為塵源,與(yǔ)粒子(zǐ)計(jì)數器配合(hé)檢漏)。由於粒子計數器讀數為累積讀(dú)數,不(bú)利(lì)於掃描,巡檢速度(dù)慢;另外,在被測過濾(lǜ)器上風側,往(wǎng)往大氣塵濃度較低,需補充(chōng)發煙才易(yì)發現泄(xiè)漏,粒子計數器(qì)法檢漏的的這些不足DOP法恰(qià)恰可以彌補,故國外廣泛采用DOP法檢漏。
5.DOP法檢漏
5.1.工作原(yuán)理:在(zài)被檢測過濾器上風側(cè)發DOP氣溶膠作為塵源(DOP即(jí)鄰苯(běn)二甲酸二辛(xīn)酯,分子量390.57,噴霧後粒子呈球形狀(zhuàng)),在下風側用光度計進行采樣,采(cǎi)集到的空氣樣品通過光度計(jì)的擴散室,含塵氣體經過光度計產(chǎn)生(shēng)的散射光由(yóu)光電效應和線性放大轉換為電量,並由微安表快速(sù)顯示,便可測得氣溶膠的(de)相對濃度。 DOP試驗實際測得的是過濾(lǜ)器的穿透率。
5.2.材料與儀器:

①塵源(yuán)(DOP溶劑);
②DOP發生器[為產生煙霧的裝置(zhì),DOP溶劑倒入(rù)發生器容(róng)器後,在一定壓力或加熱條(tiáo)件下產生(shēng)氣溶膠煙霧被送入過濾器上風側(對DOP液體加熱,形成DOP蒸汽,蒸汽在特定的條件下冷凝成(chéng)微小液滴,去掉過大和過小的液滴,僅留下0.3μm左(zuǒ)右的顆(kē)粒,霧狀DOP進入風道(dào));
③氣溶膠光度計(測定和顯示(shì)氣溶膠濃度的儀器(qì),應注明校(xiào)驗有效期,必(bì)須是(shì)校驗合格且在有效期內的方可使用);
④氮氣;
⑤環氧樹(shù)脂矽膠;

⑥備用的所需型(xíng)號的過濾器(qì)。
5.3.檢漏試驗工作程序:
5.3.1.檢漏準備:準備好檢(jiǎn)漏(lòu)所需器材與待檢區域的淨化空調係(xì)統送風管道平麵布置圖,並通知(zhī)淨化(huà)空調設備公司(sī)於(yú)檢漏當日到場進行打(dǎ)膠及更換過濾器等操作。
5.3.2.檢漏操作:

①檢查氣溶膠發生(shēng)器中DOP溶劑的液位是否高於低液(yè)位,不足則應添加。
②連(lián)接氮氣瓶與氣(qì)溶膠發生器,開啟氣溶膠發生器(qì)的溫度開關,至紅燈轉換為綠燈,即表示(shì)到溫(wēn)(約390~420℃)。
③將測試軟管的一端唄在氣溶膠光度計的上遊濃度測(cè)試(shì)口,另一端置於被檢測過濾器的進風側(上遊側)(係統檢漏可(kě)直接把DOP煙霧放入空調器內(注意不要被空調器內的過濾器吸附了);若DOP發生器較小,達不到(dào)規定的濃度,可放(fàng)在被測過(guò)濾器的靜壓(yā)箱內,層流工(gōng)作台可直接放(fàng)入風機吸入口),打開光度計開關,將測試值(zhí)調節至“100”。
④打開氮氣開關,壓力控製在0.05~0.15Mpa,緩慢打開氣溶膠發生器的油閥,控製光(guāng)度計的測試值在10~20,待測試值穩定後輸(shū)入該上遊測得濃度,即可進行(háng)後續的掃描巡檢操作。
⑤將測試軟管的一端(duān)唄在氣溶膠光度計的下遊濃度測試口,用另一端即采樣頭掃描過濾器的出(chū)風側(cè)以及支架,采(cǎi)樣頭離過濾器距離約3~5cm,沿著過濾器內邊框(kuàng)等來(lái)回掃描,巡(xún)檢速度在5cm/s以下,測試範圍包括(kuò)過濾器的濾材(cái)、濾(lǜ)材(cái)與其框架內部的連接(jiē)、過濾器框(kuàng)架的密封墊和過濾器組(zǔ)支撐框架之間的連接、支撐框架和牆壁或(huò)頂棚之間的連接,以檢查(chá)過濾器介(jiè)質中(zhōng)的小針孔和其它損壞、框(kuàng)架密封、墊圈密封以及過濾器構架上的漏縫。
⑥光度計上的儀表指示值即為過濾器的穿透率(lǜ)。當過濾器的效(xiào)率在可接受標(biāo)準以下,即用環氧樹脂矽膠堵漏或(huò)緊固螺栓(必(bì)要時暫(zàn)停發煙更(gèng)換過濾器),然後再進行(háng)掃描巡檢,直至(zhì)儀表指示值在可接受範圍內。

⑦ 檢漏應及時填寫記錄,用環氧樹脂矽膠堵漏的應用簡圖標示堵漏點。
5.3.3.可接受標(biāo)準

100,000級(jí)潔淨區(qū)過濾器的效率應>95%(氣溶膠光度計儀表指示值小於5);
10,000級潔淨區過(guò)濾器的效率(lǜ)應>99.97%(即氣溶膠光度(dù)計儀表指示值小於0.03)。

6.說明
6.1.過濾器安裝(zhuāng)或更(gèng)換後必須進行DOP檢漏;10,000級以上潔淨(jìng)區過濾器(qì)日(rì)常檢漏(lòu)一般每年(nián)一次(無菌區宜半年一次);潔淨區日常監控(kòng)中塵粒數、沉(chén)降菌、風速等出現顯著異常時,也應檢漏。
6.2.作為塵源的(de)DOP中含苯環,人們懷疑它有(yǒu)致(zhì)癌性,美國已找出了一種叫做Emery 3004的替代(dài)物,雖(suī)然塵源不同但檢漏的原理與方法(fǎ)*相同。
隻(zhī)有對超淨工(gōng)作台過濾器經過嚴格的(de)檢測合格後方可投入使用,這(zhè)樣才能保證在生產、檢驗過程中(zhōng)做到嚴格把關(guān)。

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