無塵車間的分類

1、亂流式(Turbulent Flow)：
空氣由空調箱經（jīng）風管（guǎn）與無塵車間內之空氣過濾器(HEPA)進入潔（jié）淨室，並由（yóu）無塵車（chē）間（jiān）兩側隔間牆板或高架（jià）地板回風。氣流非直（zhí）線型運動（dòng）而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型（xíng）式適用於潔淨室等級1,000-100,000級。
優點：構造（zào）簡單、係統建造成本低，潔（jié）淨室之擴充比較容易，在某（mǒu）些特殊用途場所，可並用無塵工作台，提（tí）高無塵車間等級。
缺點：亂（luàn）流造成的微塵粒子於室內空間飄浮不易排出，易汙染製程（chéng）產品（pǐn）。另外若係統停止運轉再（zài）激活，欲達需求之潔淨度，往往須耗時相當長一段時間（jiān）。
2、層流式(Laminar)： 
層流（liú）式（shì）空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣（qì）由覆蓋率100%之過濾器進入室內，並由高架（jià）地板或（huò）兩側隔牆板回（huí）風，此（cǐ）型式適用於潔淨室等級需求較高之環境使用，一般其（qí）潔淨室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：
（1）無塵（chén）車間水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向（xiàng）吹出，由對邊牆壁之回風係（xì）統回風，塵埃隨風向排出室外，一般（bān）在下流側汙（wū）染較嚴重。
優點：構造簡單，運轉後（hòu）短時間內即可變成穩定。
缺點：建造（zào）費用比亂（luàn）流式高，室內空間不易擴充。 
（2）無塵車間垂直層流式：房（fáng）間天花板*以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔淨度，在製程中或工作人員（yuán）所產（chǎn）生的塵埃（āi）可快速排出室外而不（bú）會影響其它工（gōng）作區域。
優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響（xiǎng）。
缺（quē）點：構造費用較高，彈性運用空（kōng）間困難，天花板之吊（diào）架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。
3、複合式(Mixed Type)：
複合式為將亂流式及層流式予以複合或並用，可提供局部超潔淨之（zhī）空氣。 
（1）無塵車間（jiān）潔淨隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或（huò）ULPA過濾器將（jiāng）製程區域或工作區域100%覆蓋使潔淨度等級提高至10級以上（shàng），可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響（xiǎng）了（le）工作及（jí）品質，ULSI製程大都采用此種（zhǒng）型式。潔淨隧道另有二項優點：A.彈性（xìng）擴（kuò）充容易； B.維修設備時（shí）可在（zài）維修區輕易執行。
（2）無塵車間潔淨管道(Clean Tube)：將產品流程經過的（de）自動（dòng）生產線包圍並淨化處理，將潔（jié）淨度等級提至100級以上。因產（chǎn）品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得（dé）到良好之潔淨度，可節（jiē）省能源，不需人工的自動（dòng）化生產線為zui適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。
（3）無塵車間並裝局（jú）部潔淨室(Clean Spot)：將潔淨室等級10,000~100,000之亂流潔淨室內（nèi）之產品製程區的潔淨度等級（jí）提高為10~1000級以上，以為生產之用；即屬此類。
潔淨工作台：等級Class 1~100級。
潔淨工作棚：為在亂流式之潔淨室（shì）空間內以防（fáng）靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較之潔淨空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋麵積約10M2以下（xià），四支支柱並加裝活動輪（lún），可（kě）為彈（dàn）性運用（yòng）。