
潔淨室要獲得良好的潔淨效果,不僅(jǐn)要著重采取合理的空(kōng)調淨化措施,而且也要求工藝、建築及其他專業采取相應的措施:不但要有合理的設計,而且還要精心的符(fú)合規(guī)範的施工安裝,以及正確的使用潔(jié)淨室和科學的(de)維護管理。為使潔淨室獲得良好的效(xiào)果,國內外已有不少文獻(xiàn)從不同的角度作過闡述。實際上(shàng),不同專業之間很難做到理想地配合,而且設計(jì)者很難把握施工(gōng)安裝質量以及使用和管理情況,尤其後者。就潔(jié)淨室淨(jìng)化措施而言,許多設計者,或者還有施工方,往往對其必要條件未(wèi)予足夠重視,造成潔淨效果不理想。本文僅就潔淨室淨化措(cuò)施中(zhōng)達(dá)到(dào)潔淨度要(yào)求的四個必要條件簡要論述。
一、送風潔淨度
要保證送風潔(jié)淨度符合要求,關鍵是淨化係統末(mò)級過濾器的(de)性能和安裝。淨化係統末級過濾器一般采用過濾器或亞過濾器。按我國標準[1]規定過濾器效率分四檔:A類為≥99.9%,B類為≥99.9%,C類為≥99.999%,D類為(對≥0.1μ m粒(lì)子)≥99.999%(亦(yì)稱超(chāo)過濾器);亞過濾器[2]為(對(duì)≥0.5μm粒(lì)子(zǐ))95~99.9%。效(xiào)率(lǜ)越高,過濾器的價格(gé)也越貴。所以選擇過濾器時應本著既要滿足送(sòng)風潔淨度要求,又要考慮經濟合理。從潔淨度要求考慮,以低級別潔淨室選用低性能過濾器、別潔淨室選用(yòng)高性能過濾器為原則。一般說來(lái):100萬級可選用高(gāo)中效過濾器;低於(yú)1萬級可選用亞或A類過(guò)濾器;1萬~100級選用B類過濾器;100~1級選用C類過濾器。這裏每個潔淨度(dù)級別似乎都有兩類過濾(lǜ)器可供選擇,選擇高性能的還是低性能的,要視具體情況而定:當環境汙(wū)染嚴重,或室內排風比例很(hěn)大,或該潔淨(jìng)室特別重要,需要(yào)較大安全係數(shù),在這些或其中之(zhī)一情況下,均(jun1)要選擇高一類過濾器;反之可選擇較低性能過濾器(qì)。對(duì)0.1μm粒子要(yào)求控製的潔淨室,不(bú)論控製的粒子濃度高低均要選擇D類過濾器。以(yǐ)上所述僅(jǐn)從(cóng)過濾器角度出發(fā),實際上(shàng)要(yào)選擇好過濾(lǜ)器(qì)還要全麵(miàn)考慮潔淨室(shì)特(tè)性(xìng)、過濾器特性和淨化係統(tǒng)特性。
要保證送風潔淨度,僅有合格的過濾器是不夠的,還要保(bǎo)證:a.運輸、安裝過(guò)程不損壞過濾器;b.安裝嚴密(mì)。要(yào)做到第a,則要求施工(gōng)安裝人員訓練有素(sù),既要有安(ān)裝淨化係(xì)統方麵的知識,又要具備較熟練的(de)安裝技能,否則將難以保(bǎo)證(zhèng)不損壞過濾器,這方麵是(shì)有深刻教訓的。其次,安(ān)裝嚴密性問題,主要取決(jué)於安裝結構型式優劣,設計手冊[4]一般推薦:對於單個過濾器(qì)采用明裝型式,這樣即便發生滲漏,也不致漏到室內;采用成品送風口,嚴密性(xìng)也比較容易(yì)得到(dào)保證。對於多個(gè)過濾器的風□,近幾年常采用液槽密封和負壓密封。液槽密封必須保證液槽接縫嚴(yán)密和整體(tǐ)框架都處於同一水平麵上。負壓密封就(jiù)是使過濾器與靜壓箱和框架接(jiē)縫的外周邊處於負壓狀態,與明裝型式一樣即使滲漏也不會(huì)漏到室內(nèi)。實際上隻要做到安裝框(kuàng)架平整,過濾器端麵與安裝框架接觸均勻,任何安裝型式使過濾器達到安裝嚴密性要求應該說是不難的(de)。
二、氣流組織
潔(jié)淨室的氣流(liú)組織與一(yī)般空調房間(jiān)有所不同,它要求將zui幹淨的空氣(qì)首先(xiān)送到操作部(bù)位,它的作用在於限製和減少對加工物的汙染。為此,在設計氣流組織時應考慮這些原則(zé):盡量減少渦流,避免將工作區以外的汙染帶入工作區;盡量防止(zhǐ)灰塵的二次飛揚以減少灰塵對工件的汙染機會;工作區的氣流要盡量均勻,且其風速要滿足工藝(yì)和衛(wèi)生要求,當氣流向回風口流動時要使空氣中的(de)灰塵能有效的帶走(zǒu)。根據不同(tóng)的潔淨度要求,選(xuǎn)擇不同的送、回(huí)風方式。
不同的氣流組織(zhī),各有其特點和範(fàn)圍:
(1)垂直單向流:均可獲得均勻向下氣流,便於工藝設備布置,自淨能力強,可簡(jiǎn)化人身淨化設施等共同設(shè)施等共同優點外,四種送風方式還(hái)有其各(gè)自優(yōu)缺(quē)點:滿布(bù)過濾器具有阻力低、更換過濾器周期長等優點,但頂棚結構複雜,造價高;側布過濾器頂送、全孔板頂送與(yǔ)滿布過濾器頂送的優缺點相反,其中全孔(kǒng)板頂送在係統非連續運行時,孔板內表麵易積塵,維護不好,對潔淨度有些影(yǐng)響;密集散流器頂送,因需要一段混和層,所以隻適用於4m以上高大潔淨室,其特點與全孔板(bǎn)頂送相仿;對於相對兩側格柵的板和相對兩側牆下部均勻布置回風口的(de)回風方式僅適用兩側淨間距小於6m的潔淨(jìng)室;單側牆下部布回風口僅適用(yòng)對牆間距較小(如≤<2~3m)的潔淨室。
(2)水平(píng)單向流:隻在*工作區達到(dào)100級(jí)潔淨度,當(dāng)空(kōng)氣流向另一側的過程中含塵濃度逐(zhú)漸升高(gāo),所以僅適用(yòng)於同一房間工藝過程有不同潔(jié)淨度要求的潔淨室;送風牆局(jú)部布過濾器較滿布水平送可減少過濾器用量,節約初投資,但局部區域(yù)有渦流。
(3)亂流型氣流:孔板頂送和密集散流器頂送的特點與前述相同:側送的優點易於管道布置,無需技術夾層,造(zào)價低(dī),有利於舊廠房改造,缺(quē)點是工作區風速較大,下風側比上風側含塵濃(nóng)度(dù)高;過濾器風口頂送具有係統簡單(dān)、過濾器(qì)後無管道、潔淨氣(qì)流(liú)直接送(sòng)達(dá)工作區等優點(diǎn),但(dàn)潔(jié)淨氣流擴散緩慢,工作區氣流較均勻;不過當均勻地布置多(duō)個風口或采(cǎi)用帶擴散板地過濾器風口時,也可使得工作區(qū)氣流較均勻;但(dàn)在係統(tǒng)非連續運行地情況下,擴散板(bǎn)易積塵(chén)。
以上論述均(jun1)屬於較理想狀態,也是國(guó)家有(yǒu)關規範、標準或設計手冊所推薦。實際工程中或受限於客觀條件,或由於設計(jì)者地主觀原因而(ér)未設計好氣流組織,常見的有:垂直單向流采取相鄰(lín)兩側牆下部回風,局部百級采(cǎi)用上送上回(即局部(bù)送風口下未加下垂圍簾),亂流型潔淨室采用過濾器風口(kǒu)頂送上回或單側下回(對牆間距較大)等(děng),這些氣流組織方式經實測,其潔淨度大多數都達不到設計要求。由於現行規範[6]規(guī)定空態或靜(jìng)態驗收,個別的這類潔淨室在空(kōng)態或靜態下勉強達到設計的潔淨度級別,但抗(kàng)汙染幹擾能(néng)力很低,一旦潔淨室進入工作狀態就達不到(dào)要求。正確的(de)氣流組織(zhī)局部區域應設圍簾下垂至工(gōng)作區高度,10萬級也不應采(cǎi)用上送上回。還有目前大多數工廠生產的帶擴散板的送風口(kǒu),其擴散(sàn)板(bǎn)都隻是裝飾性孔板而不起擴散氣(qì)流作用,請設計者和用戶(hù)要特別注(zhù)意。
三、送風量(liàng)或(huò)風速
足夠的通風換氣量是(shì)為了稀釋和排除(chú)室內汙染空氣,根據不同的潔淨度要求,當潔淨室淨高較高時,適當增加換氣次數(shù)。其中,100萬級(jí)潔(jié)淨室的通風(fēng)量是按高中效淨化係統考慮(lǜ)[7],其餘均按淨化係統考慮;當10萬級(jí)潔淨室過濾器集中布置在機房或係統末端采用亞過濾(lǜ)器時,可(kě)適(shì)當提高換氣次數10-20%。
對於上述通風量推薦數值筆者認為:單向(xiàng)流潔(jié)淨室(shì)通過房間(jiān)截麵風速偏低(dī),亂流型潔淨室是有較充(chōng)分安全係數(shù)的推薦值。垂直單向流≥0.25m/s,水平單向流≥0.35m/s,在空態或(huò)靜態下檢測潔淨度,雖然能達到要求,但抗汙染能力較差,一旦室內進入(rù)工作狀態,潔淨度就可能達不到要求,這類實例已不屬於個別;同時,我國通風機係列中尚未有較適合淨化係統用的風(fēng)機,一般(bān)設計者又往往對係統空氣阻力未作準確計算,或未注意到所選用的風機是否處於特性曲線(xiàn)上比較有利(lì)的工作點,使得係統在投(tóu)入運行後(hòu)不久,風量或風速就達不到設計值。四、靜壓差
潔淨室維持一定的正壓是保(bǎo)證潔淨室不受或少受汙染、以維持(chí)設計(jì)潔淨度等級*地(dì)條件之一(yī)。即便是負壓潔淨室,它也必須有不低於(yú)它潔淨度級別地相(xiàng)鄰房間或套間(jiān)維持一定地正壓,負壓潔淨室的潔淨度才能得以維持。
潔淨室正壓值是指門窗全部關閉狀態下,室內靜壓大(dà)於室外(wài)靜壓的數值。它是通過淨化係統送風量大(dà)於回風量和排風量(liàng)的方法(fǎ)來達到(dào)。為了保證潔淨室正壓值,送風、回風和排風機聯(lián)鎖,係統開啟時先啟動(dòng)送風機(jī),再啟(qǐ)動回風機(jī)和(hé)排風機;係統關閉時先關排風機(jī),再關回風機和(hé)送風機,以防止潔淨室在係統開啟和(hé)關閉時受到汙染。
維持潔淨室(shì)正壓所需的風量主要根據維護結構密閉性好壞來確(què)定。我國潔淨室建設初期由於圍護結(jié)構(gòu)密閉性(xìng)較差,要維持≥5Pa的正(zhèng)壓就要2~6次/h送風量;目(mù)前維護結構密閉性已大為提高,維持同樣的正壓隻要1~2次/h送風量;維持≥1OPa也隻要2~3次/h送風(fēng)量。
我國設計(jì)規範(fàn)規定:不同等級的潔淨室(shì)以及潔淨區和非(fēi)潔淨區之間的靜壓差應不小於0.5mmH2O(~5Pa),潔淨區與室外的靜(jìng)壓差(chà)應不小於1.OmmH2O(~l0Pa)。我們認為該值似偏低,原因有三:1.正壓是表示潔淨室抑製通過門窗(chuāng)縫隙汙染室內空氣(qì)的能力(lì),或在短時間打開門窗時使滲入室內的汙染(rǎn)物減少到zui低限度的能力,正壓大小表示抑製汙染能力的強弱,當然(rán)不是正壓越(yuè)大越好。2.正壓所需的(de)風量有限,5Pa正壓與10Pa正壓所需風量僅差約1次(cì)/h,何(hé)樂而不為呢(ne)?顯(xiǎn)然正壓值(zhí)低限取l0Pa更*些(xiē)。3.美國(guó)聯邦標準(FS209A~B)規定:當所有出入口關閉(bì)時,潔淨室與任何相鄰的低(dī)潔淨度區域之間的(de)zui低正壓差為0.05英寸水柱(12.5Pa),這數(shù)值已被許多國家(jiā)采用。