無塵室的介紹

無塵室是指可以將（jiāng）環境因（yīn）素控製在規定數值內（nèi）的空間，稱之為無塵室。室內（nèi）環（huán）境（jìng）因素包括空氣中：微生物、微塵粒、氣體分子、溫度、濕度、氣流流型（xíng）、風速、壓差、照度、噪音、微振動、靜電、風量、電磁波等無塵室是指將一定空間範（fàn）圍內之空氣中的微粒子（zǐ）、有害空氣、細菌等之汙染物排除，並將室內之溫度、潔淨度、室（shì）內壓力、氣流速度與氣（qì）流分布、噪音振動（dòng）及照明、靜電控製在某一需求範圍內，而所給予特（tè）別設計之房間。亦即是不（bú）論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先（xiān）所設定要求之潔淨度、溫濕（shī）度及壓力等性能之特性（xìng）。
無塵室按（àn）用途可分為兩（liǎng）大類：
（1）工業無塵室：以無生命微粒的控製為對（duì）象。主要控（kòng）製空氣塵埃微粒對工作（zuò）對象的汙（wū）染，內部一般保持正壓狀態。它適用於精密機械工業、電子工業（半導體、集成電路等）宇航工業、高純度化（huà）學工業（yè）、原子能工業、光磁產品工業（光盤、膠片、磁帶生產）LCD（液（yè）晶玻璃）、電腦硬盤、電（diàn）腦磁頭（tóu）生產等多行業。
（2）生物無塵室：是以有生命微粒的控製為對象。1999年（nián）標準化技術協會公告發行ISO/TC209通用標準，將無塵室分成9個等級，采用SI製單（dān）位，1k級即英製中的1000級，室內環境中1 ft3、0.5um的微塵顆粒（lì）不超過1000顆。 主要控製有生命微粒（細菌）與無生命微粒（塵埃）對（duì）工作對象的汙（wū）染。
無塵室（shì）又可分為（wéi）：
A、一般生物無塵室：主要控製微生物（細菌）對象的汙染。同時（shí）其內部材料要能（néng）經受（shòu）各種滅（miè）菌劑侵（qīn）蝕，內部一般保（bǎo）證正壓。實質上其內部材料要能經受各（gè）種滅菌處（chù）理的工業無塵室。例：製藥工業、醫（yī）院（手術室、無菌病房）食品、化妝品、飲料產品生產、動物實驗室、理化檢（jiǎn）驗（yàn）室、血站等。　　
B、生物學安全無塵（chén）室：主要控製工作對象的有生命微粒對外界和人的（de）汙染。內部要保持與大氣的負（fù）壓。例：細菌學（xué）、生物學（xué）、潔淨實驗室、物物工程（重組基因（yīn）、疫（yì）苗製備）。
無塵室（shì）zui主要之作用在於控製（zhì）產品（如矽芯片等）所（suǒ）接觸之大氣的潔淨度日及溫濕（shī）度，使產（chǎn）品能在一個良好之（zhī）環境空間中（zhōng）生產（chǎn）、製造，此空間我們稱之為無塵室。按（àn）照慣例，無塵淨化級別主要是根（gēn）據每立（lì）方米空氣中粒子直徑大於劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所（suǒ）謂（wèi）無塵（chén）並非100%沒（méi）有一點灰塵，而是控製在一個非常微量的單位上，當然這個標準中符（fú）合灰塵標準的顆粒相對於我們（men）常見的灰塵已經是小的（de）微乎其微，但是對於光學構造而言，哪怕是一（yī）點（diǎn）點的灰塵都會產生非常大的負麵影響，所以在光學構造產品的（de）生產上（shàng），無塵是必（bì）然的要求。
每立方米將小於0.3um粒徑的微塵數量控製在3500個（gè）以下，就（jiù）達到了無塵標準的*。目（mù）前應用在芯片級生產加工的無塵標準對（duì）於灰塵的要（yào）求（qiú）高於*，這樣的（de）高標主要被應（yīng）用在一些等級較高芯片生產上。5um及以（yǐ）下的微塵數（shù）量被嚴格控製在每立方米1000個以內，這也就是業內俗（sú）稱的1K級別。