
對(duì)於潔淨室的(de)塵(chén)源,除了來自室外大(dà)氣的塵粒和進入潔淨室的人和物攜帶的灰塵之外,潔淨室內的發塵源主要來自於潔淨室內操作人員,潔淨室的圍護和潔淨室內生產工藝設備和生產過程的(de)產塵(chén)。
1、潔淨室內作業人員的產塵。作業(yè)人員的產塵與所穿(chuān)的潔淨工作服的材料、型式、著裝情況和作業人員本身的動作有(yǒu)關。因此,潔淨室內的作業(yè)人員必須穿規定的工作服(fú)而且動作也要受(shòu)到一定的限製。
通常情況下,一般電子裝配工藝穿全身型(xíng)潔淨工作服(fú)輕微動作(zuò)時,人員的產塵量為3.5 ~ 5.0×105個/人·分(≥0.5µm)。是潔淨室內的zui主要的發塵源。
2、潔淨室圍護和(hé)室內表麵的產塵。隨(suí)著潔淨室裝修材料的(de)發展,耐磨、抗靜電、少產塵的(de)材料(liào)出(chū)現,潔淨室內建築產塵量越來越小。一般認為潔淨室單位建築麵積產塵為3 ~ 5.0×104 /m2·分(≥0.5µm)。可見10平(píng)方(fāng)米建築產塵隻相當一(yī)個作業人員的產塵量。
3、生產設備和生產過程的產塵:這一(yī)產塵量與設備和生(shēng)產過程本身有直接關係。不同設(shè)備、不(bú)同(tóng)生產工(gōng)藝的產塵量差別極大。在日本的(de)資料介紹,一台電動機的產塵量大約為4.5 ~ 45×104個/台(tái)·分(≥0.5µm)。