潔淨（jìng）室施工-潔淨室性能測試（氣流流型（xíng）的（de）檢測）

1、氣流（liú）流型的檢測包括氣流目測和氣流流向的測試。氣流目（mù）測可采（cǎi）用示蹤線法、發煙（霧（wù））法和采用圖像處理技術等方法。氣（qì）流流向的（de）測試一般采用示蹤線法、發煙（霧）法和三維法測量氣流速度等方法。
2、采用示（shì）蹤線（xiàn）法時可采（cǎi）用尼龍單（dān）絲線、棉線、薄膜帶等輕（qīng）質纖維，放置在測試杆的末端，或裝在氣流中細絲格（gé）柵上，直接觀察（chá）出氣流的方（fāng）向和因幹擾引（yǐn）起的波動。
3、采有發煙（霧）法時，可采用去離子水，用（yòng）固（gù）態二氧化碳（幹冰）或超聲波霧化器等生成直徑為0.5~50μm的水霧，采（cǎi）用（yòng）四氯化鈦（TiCl₄）作示蹤（zōng）粒子時，應確保潔淨室、室內設備以及操作人員不受四氯化鈦產生的酸傷害。
4、采用圖像處理（lǐ）技術進行氣流目測時，由（yóu）C.5.2得到的在攝像機或（huò）膜上的粒子圖像數據，利用二維空氣流速度矢量提供量化的氣流特（tè）性。圖像處（chù）理技術要求帶有適用的接（jiē）口和軟件的數字計算機。
5、采用三維法測量氣流（liú）速（sù）度、采（cǎi）用熱球（qiú）風速計或超（chāo）聲風速計，檢測點選擇在關鍵（jiàn）工作區及其工作麵高度。根據建設方要求需進行潔淨室（shì）（區（qū））的氣流方向的均勻分（fèn）布測試（shì）時，應進行多點測試，其測（cè）試點（diǎn）的選擇宜參照C.2中的方法選用。