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1、管路係統的試運轉應包括管路吹掃、氣密性、泄（xiè）漏性試驗和純度（dù）測試。
2、高（gāo）純氣體、特種氣體供應設（shè）施安（ān）裝前，應按工程設計文件和產品說明書或合約的要求，檢查設備（包括填（tián）充（chōng）的純（chún）化材料等）、閥門和管件的完整性、密封性，並作（zuò）檢查記錄。
3、純（chún）化設備、特氣櫃的搬（bān）運、就位應（yīng）符合下（xià）列規定：
（1） 搬入潔淨室（shì）（區）前，應進行認真的清潔，符合要求後從規定（dìng）的設（shè）備搬入口（kǒu）運入；
（2） 整體設備搬運時，應按設備的構造、管道及閥門等附件（jiàn）的配置（zhì）狀況安全運（yùn）輸，不得倒置，並可靠固（gù）定；
（3）設備就位時（shí），應按工程設計（jì）文件和產品（pǐn）說（shuō）明書要求，準確做好接管（guǎn）、接線定位；
（4）就（jiù）位後，水、電接口應按工（gōng）程設計文件要（yào）求連接；
（5）氣體管道接口，應在分（fèn）係統的氣體輸（shū）送管道安裝試運（yùn）轉合格後才能連接。
4、高純氣體、特種氣體係統的閥門箱、吹掃盤的安裝，應符合下（xià）列要（yào）求：
（1）檢查箱體及箱內閥門、儀表和附件的完整性、密封性（xìng）和合（hé）格證（zhèng）書等，並作好記錄；
（2）安裝位置應按工程設計文件、產品說明（míng）書要求（qiú）進行，並（bìng）檢查接管、接線方位的正（zhèng）確性；
（3）氣體管道接口，應（yīng）在所在係統試運轉合格後才能連接。
5、高純氣體、特種氣體設施施工安裝試（shì）運轉的純度測試，應符合下列要求：
（1）純度測試介質（zhì），宜采用工作氣體進行；
（2）測試氣體（tǐ）的壓力，宜與輸送（sòng）介質的設計壓力相（xiàng）同；
（3）測（cè）試氣（qì）體的檢測取（qǔ）樣口或排氣接口，應設在供氣係統中要求（qiú）氣體純（chún）度及其雜質含量zui嚴格且距離zui長（zhǎng）的用氣設備處；
（4）純度（dù）測試過程，取樣時（shí）間的間隔（gé）宜為4h左右（yòu）；氣（qì）體樣品應采用（yòng）與輸送介質純度及（jí）允許雜質含量相（xiàng）應的精度等級的（de）儀器進行分析；
（5）當測試氣體的（de）進、出口的純度（dù）及其雜質含量（一（yī）般以氧痕量濃度、水痕量濃度為代（dài）表）一致時，即認為純度測試合格。
6、管路係統的試驗應符合下列要求：
（1）高純氣體、特種氣體供應設施的強度試驗、氣密性試驗和泄漏量試驗及試驗壓力，均應按工程設計文（wén）件要求；
（2）試驗氣體宜采用無油（yóu）幹燥壓縮空氣或（huò）純氮（dàn）或氦氣；試驗氣（qì）體壓力按規定逐步升至係統強度試驗壓力（lì）後，保持10min，然後降壓至氣密性試驗壓力（lì），檢查接口、焊縫是否泄漏，以不漏為合格；
（3）氣密性試（shì）驗合格後，進行泄（xiè）漏量試驗，試驗氣體為純氮或（huò）無油幹燥壓縮空氣時，係統以設計壓力（lì）保持24h，檢（jiǎn）查泄（xiè）漏率不（bú）超過0.5％為合格。采用（yòng）氦氣為試驗氣體時，係（xì）統以（yǐ）設計壓力保持1h，檢查泄漏率不（bú）超過0.5％為合格。若不合格，檢查原因並進行完善後（hòu），再進行泄漏量試驗，直至合格為止；
（4）管（guǎn）路係統（tǒng）的試驗，一般均不（bú）包含純化設備、特氣櫃（guì）和閥門箱等。
7、管路吹掃應符合下列要求：
（1）應（yīng）按氣體品種、工作參數分係統分別進行吹掃；
（2）管路係統應采用0.3.0.5MPa的無油幹燥壓縮（suō）空氣或純氮進行吹掃（sǎo），吹掃氣體應設置過濾（lǜ）精度嚴於0.31tm氣體過濾器去除微粒；對輸送可（kě）燃氣體（tǐ）的管路宜（yí）采用純氮（dàn）吹掃；
（3）在管（guǎn）路（lù）係統吹掃氣（qì）體排（pái）出口設靶（bǎ）檢查，以（yǐ）靶上未見微粒為合格（gé）；對輸送可燃氣體的管（guǎn）路係統，應以排出口吹掃氣體中含氧量小於1％為合格（gé）。
當前位置：