淨化車間所需壓力差參照表

相應處所

zui低壓力差

不同級別的淨化間之間

5Pa

（0.5mmH₂O）

淨化間和準淨（jìng）化間

10Pa

（1.0mmH₂O）

淨化間與一般房間

15Pa

（1.5mmH₂O）