無塵室潔淨度定期檢測及（jí）測量標準

無塵室潔淨度定期檢測及測量標準
1、為了保證無塵室的潔淨度滿足工（gōng）藝要求，必須定期對（duì）無塵室內的潔淨度進行檢測。
2、檢測測試設備：激光粒子記（jì）數器。
3、檢測周期：每周一上午、下（xià）午對各潔淨區域進行一次檢測。
4、檢測條（tiáo）件（jiàn）：靜態潔淨度（dù）測試。
5、數（shù）據收集整理：將（jiāng）每次檢測的結果輸入監控室的電腦中儲存，並在每個季度末（或下季度（dù）初）給各部門發該季度的潔淨度記錄圖表電子檔通報給各部門。
6、各潔淨區域潔淨級別標準：按照《半（bàn）導體公司能源管理標準》要求執行。
潔淨等級標準相當於ISO級別等效於GB級別
K-1係統劃片區域
K-1係統改造前（qián）為靜態10萬級 CLASS 7
CLASS 8 CLASS 7
CLASS 8
K-2係（xì）統包封區域靜態30萬級 CLASS 8．3 CLASS 8．3
K-3係統搪（táng）錫區（qū）域靜態30萬級 CLASS 8．3 CLASS 8．3
K-4係統測試區域靜態30萬級（jí） CLASS 8．3 CLASS 8．3
K-8係統電鍍區域（yù）靜態30萬級 CLASS 8．3 CLASS 8．3