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（1）單（dān）獨空調器係統
循環空氣通過空調器進行（háng）溫（wēn）、濕度處理後以風管直接分送至各HEPA過濾器，但不宜用於（yú）過濾器多的係統，空調器的風量（liàng）一般不會太大。另一（yī）種方式是用總風（fēng）管至靜壓（yā）箱，如有靜（jìng）壓箱，宜用於過（guò）濾（lǜ）器多（duō）的係統，靜壓箱要求密封性好（hǎo），以免汙染物通過過濾器與靜壓箱的安裝接縫處以有不嚴密處漏入至潔淨室，這一點對要求嚴的潔淨室是十分重要的，常設在靜壓箱上一層屋頂層（céng）內，以減少送風管長（zhǎng）度。一般每台空調器的風量30000-45000m3/h間，以控製噪聲過大，風壓（氣壓）一般控製在650-700Pa以內。
（2）軸流風（fēng）機豎井式布置，有（yǒu）壓（yā）靜壓箱
這種空氣循環係統主要用於大的IC工廠的（de）潔淨室，由於（yú）其風量大（dà），過濾器（qì）多，每台（tái）軸流風機的風壓常控製在400Pa左右，以適應軸流風機低風壓、大流量下的運（yùn）行效率佳並控製（zhì）其（qí）噪音。此（cǐ）係統的（de）特點是綜合投資及運行費用較高，維護管（guǎn）理方便，但靈活性較有效期，另外有壓靜箱的缺點同上。
（3）FFU係統
FFU是近幾年發展起來的，在（zài）使用（yòng）壽命及維（wéi）護上已經實踐證明（míng）無可擔心。其特點是靈活性大，便於改造（zào），擴展；占（zhàn）用建築物空間較少（shǎo）；無壓回風靜壓室，潔淨室內風壓大於它的，排除靜壓室對潔淨室漏入汙染物（wù）。由於運行時的靜（jìng）壓一般皆在250Pa左右（yòu），因此要求係統總阻力（過濾器為（wéi）初阻力）控製在165Pa左右，即整個回風阻力（包括風道、各種局部阻力等（děng））控製（zhì）在65Pa左右，過濾器初阻力控製在約100Pa，融就需再增設加壓風機係統，這就降低了FFU係統的綜合優點。
FFU單機風量一般在1000-2000m3/h，由於小風機所用小容量（功率<1/2Hp）的交流電機，一般皆為電容分相式或隱極式，其（qí）效率僅40%左右，因此運行能效低，現多（duō）采用電（diàn）子（zǐ）正流電機（無刷直流電機）其效率可達75-80%。解決（jué）了以往運行能效低（dī）的問題，在調（diào）整控製上，可每台單獨或成（chéng）組（zǔ）以過濾（lǜ）器壓降進行控製以進一步達到節能。FFU係統，可用於各行業（yè）的潔淨室，隻要回風（fēng）係統阻力及（jí）過濾器阻力能合適控製，對小係統往（wǎng）往是可取的；對過濾器滿布率較低（如25%）左右的大麵積潔淨室亦（yì）采用較多；對過濾器滿布率較高時（shí）一（yī）般往往是不經濟的，滿（mǎn）布率高，意味著風量很大，如控（kòng）製係統（tǒng）阻力，回風道要（yào）很大，往往在綜合經濟上不可取，亦較難實現。
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