潔淨技術與（yǔ）電子產品生產（chǎn）的密切關係

國內外的潔淨（jìng）技術的（de）發展都是隨著科學技術的發展、工業產品的日新（xīn）月（yuè）異，特別是軍事工業、航天、電（diàn）子和生物醫藥等工業的發展而不斷發展。現代工業新產品和現代科學實驗活動要求（qiú）微（wēi）型化、精密（mì）化、高純度、高質量和高可靠性。微型化的產品如電子計算機，從當初的要在數間房間內配置多台設備組合發展到（dào）當今的筆記本電腦，它所用的電子元器件（jiàn）從電子管到半導體分離器件到集成電路再到超大規模集成電路，僅集（jí）成電路（lù）的線寬已從幾微米發展到0.1m左右。產品的微型化等的生產，要求有一個“潔淨的生產環境”，潔淨技術便是（shì）按照產品生產對“潔淨生產環境”中的汙染物的控製要求、控製方法以及控製設施的日益嚴格而不斷發展。潔淨生產（chǎn）環境—潔淨室（潔淨廠房）的稱謂、名稱或定義，先（xiān）後（hòu）使用過“無（wú）法室”、“無窗廠房”、“密閉廠房”、“空氣懸浮粒子受控的房間”……等，潔淨室因定（dìng）義為（wéi）將空氣（qì）中的微粒、有害氣（qì）體、微生物受控的房間，以滿足產品（pǐn）生產（chǎn）的需要;潔淨室的建造和使用應不引入或少引入微粒等，應不產生或少產生微粒等應不滯留微粒等;應對潔淨（jìng）室內的溫度、濕度、壓力等參數按產品生產要求進行控製;根據產（chǎn）品生（shēng）產要求還需對潔淨室內的氣流分布、氣流速度以及噪聲（shēng）、振（zhèn）動、靜電等進行控製。
根據電子產品生產的特點，以半導體集成電路生產用潔淨室除應安裝產品生產用設備外，一般應具有下列功能（néng）設施：
淨化空調係統、淨化設備；
潔淨建築及裝飾；
噪聲控（kòng）製、防微（wēi）振；
防靜電、防電（diàn）磁幹擾；
電氣、照明；
高純物質—高（gāo）純水、高純氣、高純（chún）化學品供應；
安全、報警係統（tǒng）；
通信設施（shī）……等（děng）等。
潔淨室設計是一門綜合技術，設計過程的關鍵專（zhuān）業技術是生產工藝技術及其工藝設計；空氣淨化專業設計;潔淨建築設（shè）計以及各類產品生產所需的專業技術，如微電子產品生產所需的高純物質—高純水、高純氣的專業技（jì）術等。這些專業技術在潔淨室設計中（zhōng）都是*的，它們之間必須密切配合，圍繞著滿足產品生產的需要，相互協調、統籌安排，在做好各相關專業設計的基礎上，處理好電源、冷源、熱源等動力供應，節約能源。設有各項安全設施—消防、防火、防爆、安全報警確保潔淨室的安全運行。安排好各類配管配線，確保各種流體介質的輸送質量，減少材料消耗，方便施工安裝和運行維護（hù）。