探討超淨（jìng）工作台的結（jié）構及如何空氣淨化

空（kōng）氣經過過濾（lǜ）的生產環境（jìng）首先被航空航天工業使用。即（jí）使一個極其微（wēi）小的缺陷都可造成衛星工作失誤，因此，NASA（美國航空航天中心）和其（qí）服務商們建（jiàn）造了帶有（yǒu）過濾天花板（bǎn）夾層和過濾牆體的車間。而且*了許多基本的汙染控製理念，其中包括從工（gōng）作人（rén）員潔淨服到潔淨室使用物的（de）管（guǎn）理方法。
半導體工業采（cǎi）用了許（xǔ）多（duō）這方麵的技術（shù）。然而一個主要的（de）問題是當從小加工車間擴建為有更多工人工作的大型（xíng）車間後，很難（nán）保持其（qí）固有的潔淨（jìng）度。早（zǎo）期半導體工業把帶過濾（lǜ）天花板夾層和牆體的方法演化為超淨工作台法。這個主要是把過濾器裝在（zài）單個工作台上，並使用無脫落的（de）物質。在工作台以外，晶圓被裝（zhuāng）在密（mì）封的盒子中（zhōng）儲存、運輸。
在大型車間中（zhōng）按順序排列的工作台（叫做工作層流罩）組成加工區，使晶圓依工藝次序經過而不（bú）從露於空氣中。潔淨工作罩中的過（guò）濾器是一種顆（kē）粒搜集過濾器（HEPA過濾器）。這些過濾器是由含許多小孔，並按手風琴琴葉折疊的脆（cuì）性纖（xiān）維組（zǔ）成，由於高密度的小孔與大麵積的過濾層，使得大量的空氣低速流過（guò）。由於低速空氣（qì）可避免產生空氣流，有利於工作台的潔淨度，並且對於操作員而言，在舒適的環境中工作也是必要的。典型的空氣流（liú）量6為每分鍾（zhōng）90到100英寸。HEPA過濾器可達到99.99%或更高的過濾（lǜ）效率，並可用於三種淨化方法中（zhōng）。
一般來說，HEPA過濾器裝（zhuāng）於超淨（jìng）工作（zuò）台頂部（bù）。空氣由風扇吸入先通過前置過濾器，再通過HEPA過濾器，並以均勻平行（háng）的方式流出，在工作台表麵改變方向，流出工作台。安裝檔板可控製晶（jīng）圓表（biǎo）麵空氣流動（dòng）方向，通常這種方式稱為（wéi）空氣層流（liú）立式式工作台，它是由（yóu）空氣流的（de）方向命名的。有些工作台把HEPA過濾器裝於工作台後部，這種方式被稱為空氣層流（liú）平行式（shì）工作台。