無塵室防止微粒子汙染的幾項基本（běn）原則

一、無塵室不攜入
（1） 作（zuò）業（yè）員進入無塵室前，機台、零件攜入（rù）前應進行清潔（jié）處理；
（2） 進入無塵室者在更（gèng）衣室要（yào）穿著不發塵、不產生靜（jìng）電的（de）具特殊導電性纖維材質的無（wú）塵服、帽（mào）、鞋（xié）、手套、口罩等；
（3） 通過時利用高（gāo）速幹淨空氣除去（qù）附在衣服表麵的粒（lì）子後，才能進入無塵室；
（4） 機（jī）器及材料（liào）帶進無塵室前，應盡可能在密封（fēng）狀（zhuàng）態下帶（dài）進無塵室前室保養後用超純水擦拭，經風淋室吹淋（lín）後才進入無塵室；
（5） 無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩（pèi）戴附有filter的排氣用（yòng）小型fan於腰間。  
 二、無塵室不發生
在控製（zhì）zui大汙染源–人在無塵室內的微粒子發塵量的同時，也應控製第（dì）二（èr）大汙染源—製造機台的（de）發塵（chén）量。因物品在移（yí）動時，所產生的摩擦及接觸剝離會造成發塵，而物品在移動時也（yě）會有微粒子的發生。故為了控製發塵量達到zui小限（xiàn）度應采取以下對策：
（1） 減少接觸剝離（lí）發塵的動作形態；
（2） 采用磨耗發塵小（xiǎo）的材質（zhì）；
（3） 采用發塵小的潤滑油；
（4） 機台應（yīng）用空壓浮上的非接（jiē）觸化工作原理。
三、無塵（chén）室不（bú）儲備
若（ruò）能*實施“不攜（xié）入（rù）”技術，無塵室內的潔淨度就可以維持。但現實中人和物品的頻繁出入及製造機台的掣動，在廣大的無塵室（shì）內要有（yǒu）*潔淨度是不可能的。因此“不儲備”技術快速地在過濾器（qì）中應用以除去已發生的微粒子變得非常重要。通常已發生的微粒子（zǐ）會依據重力及靜電吸附力而停留在（zài）周（zhōu）邊的物（wù）體表麵。突發性的振動及不穩定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加（jiā）了重大微（wēi）粒子汙染（rǎn）的危險性在zui高等級的無塵室中從天花板到（dào）地麵，*除去超淨工作台微粒子的（de）空氣須在0.3-0.4m/s的（de）速度作（zuò）垂直向下流動。這是在約10秒內將室內空氣和*過濾空氣*交（jiāo）換所計算出來的數值。同時，空氣的流向也必須要有的控製才行。特別要保證（zhèng）氣流的流通路（lù）徑（jìng）暢通無阻，因為在流通路徑中有障礙物的話，容易產生空（kōng）氣空氣渦流而形成空氣的滯留區域，使得附近已發生的微粒子無法快速排除而長時間漂流（liú）在無塵室內，而（ér）一部分會附著在周邊機器設備的表麵而引起汙染（rǎn）。控製氣流可防止微粒子累積，但對於（yú）帶電表麵的微粒累積就無法防（fáng）止（zhǐ）。為了防止由靜電吸附而引起的（de）微（wēi）粒附（fù）著，通常在無塵室內會使用帶電程度在數十（shí）伏以下的導電性材料。而對於製（zhì）造品本（běn）身的帶（dài）電，則采用帶電程度很少的搬送（sòng）形態及接觸部品材料，並藉由除電裝置進行除電。
四、無塵室（shì）排除、除去
在（zài）無法避免大量微粒子發生的機台中，為了不讓無塵室內產生微粒子（zǐ），因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：由於（yú）導入同量的外氣是必要的，但會伴隨大（dà）量的能源消（xiāo）耗。所以無法說是理想的對策。因此盡可能地在（zài）壓（yā）縮排氣量的同時，不僅僅（jǐn）是向無塵室外（wài）排氣，而（ér）應采用將除（chú）去粒子後（hòu）的空氣再回流到無塵室內之對策。