潔淨度檢測示例

例：潔淨室麵積（jī）為80m2，要求的（de）潔淨度為5級，並要（yào）求對於0.3um和0.5um兩種粒徑的微粒（lì）進行檢（jiǎn）測，應該（gāi）如何進行（háng）？

1、檢測操作前的準（zhǔn）備（bèi）

（1）判斷規定的被檢微（wēi）粒的粒徑是否在（zài）5級粒徑限值之內。0.3um和0.5um介於（yú）0.1um和5um之間，所以規定（dìng）的被檢微粒在5級（jí）粒徑限值之內。

（2）判（pàn）斷（duàn）規定（dìng）的被檢微粒相鄰的較大粒徑是否不小於較（jiào）小粒徑的1.5倍。

0.3*1.5=0.45，0.5＞0.45，符合要求。

（3）計算微粒最大允許濃度，計算公式為：

計算結果（guǒ）：

1）對於粒徑不小（xiǎo）於0.3um的微粒，最大允許（xǔ）濃度（dù）為10200pc/m3。

2）對於粒徑不（bú）小（xiǎo）於0.5um的微粒，最（zuì）大允許濃度（dù）為3520pc/m3。

（4）計算最少采樣點數。計算結果：最少（shǎo）采樣點數為9個。

（5）計算單次測定的最（zuì）少采樣（yàng）量，計算（suàn）結果：

對於（yú）不小於0.3um的（de）微粒，a=10200pc/m3，代入公式：

檢測（cè）如（rú）下：

2、數據處理

因為采樣點數小於10，所以應該（gāi）考慮95%置（zhì）信度的微粒濃度的上限。

（1）每個采樣點的平均（jun1）值。每個采樣點（diǎn）隻（zhī）采樣一（yī）次（cì），所以（yǐ）每（měi）個采樣點的（de）一次測得值可以作為（wéi）該點的平均值。

（2）總平均值

1）對於（yú）不小於0.3um的微粒：總平均值為6349 pc/m3。

2）對於不小於0.5um的微粒：總平均值（zhí）為706 pc/m3。

（3）采樣點平均值的標準偏差

1）對於不小於0.3um的微粒：2154

2）對於不小於0.5um的微粒：382

（4）計算置信上限（xiàn）。置信度取95%，采樣點數m=9，從t分布表中查出t值為1.9。

1）對於不小於0.3um的微粒：

2）對（duì）於不小於0.5um的微粒：

3、檢測結果的判斷

1）對於不小於0.5um的微粒，a=3520pc/m3，代入公（gōng）式：

                                                               
2）采樣條件要求單次采樣量不小於2L。
3）采樣條（tiáo）件要求單次采樣時間不小於1min。

4、檢（jiǎn）測操作
（1）根據檢測條件要求，可選用28L/min光散射（shè）氣浮微粒測定儀進行檢測。
（2）每個（gè）采（cǎi）樣點隻采（cǎi）樣一（yī）次，檢測結（jié）果見下表。每點測得（dé）的（de）微粒數值均滿足潔淨度級微粒數均滿足潔淨度級別的要求，95%置信的微粒濃度的上限也滿足潔淨度級別的要求，所（suǒ）以該（gāi）潔淨室的級別（bié）度符合要求。