
電子(zǐ)潔淨室的設計特點有如下:
1、平麵由(yóu)工藝(yì)決定,電子工業潔淨廠房(fáng)的工藝布局應適應電子產品發展的靈活性,滿(mǎn)足產品生產工藝改造和擴大生產的需求。
2、主體結構宜采用大空間及大跨度(dù)柱(zhù)網,不宜采用內牆承重體係。
3、大型電子工業潔淨廠房常采用上技術夾層、下技術夾層這種“夾心(xīn)”式(shì)多層構造。
4、應考慮大型生產工藝(yì)設備的安裝、維修要求,設置必要的運輸通道和不影響(xiǎng)潔(jié)淨生產環境的安裝口或檢修口。
5、電子工業潔淨室按二級耐火等級設計。
6、特種氣體的(de)儲存和分配間應有耐火隔牆與潔淨室(區)分開(kāi),該牆耐火極限不低於1H。有毒(dú)的矽烷(wán)或其混合物氣瓶存區至少三麵是敞開的,氣瓶與周圍構築物或圍欄之間的距離應大於3M,儲存區設置的雨篷應不(bú)低於3.5M。
7、電子工業潔淨室的裝飾材料不(bú)得采用釋放對電子(zǐ)產品有影響(xiǎng)物質的材料。
8、電(diàn)子工業潔(jié)淨室允許設空氣(qì)吹淋室,這是和一般生物潔淨室不同的。吹淋室應與潔淨工作服更衣室(shì)相鄰(lín)。單人(rén)吹淋室按大班人數為30人一間(jiān)設計,當工作(zuò)人(rén)員(yuán)超過5人時(shí),應設旁門,當人數太多或為了縮短通過時間,也可設遂道式吹淋室。
9、對於高級別潔淨室,為(wéi)了盡可能不影響氣流的單向性、平行性,照明燈具采用淨化淚珠形燈具。
10、電子工業潔淨室常要根據(jù)生產工藝要求設置防靜電環境,以便抑製靜電的產生,將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全的排除(chú)。
11、電子工業潔淨室友有對防微振的特殊要求,在廠地環境上應避開振動源。
12、電子工業潔淨室除有一(yī)般(bān)給排水要求外,對(duì)超大規(guī)格集成電(diàn)路的用(yòng)水也(yě)有標準。
電子潔淨(jìng)室的(de)環境參數:
參數 | 數 值 | 說 明 |
截麵(miàn)風速/(M/S) | 0.3-0.5 0.2-0.4 | 潔淨度1-3級(jí)(ISO)潔淨室 潔淨度4-5級(ISO)潔淨室(shì) |
換氣(qì)次數/(次/H) | 50-60 15-25 10-15 | 潔淨度6級(ISO)潔淨室(shì) 潔淨(jìng)度7級(ISO)潔淨室 潔淨度(dù)8-9級(ISO)潔淨室 |
靜壓差/Pa | >5 >10 | 不同等級潔淨室之(zhī)間以及潔淨室與非潔淨室 之間潔淨室與室外之羊 |
溫度/℃ | 18-22 16-20 按具體工程項目要(yào)求24-26 26-28 按具體工程項目(mù)要求 | 工藝無要求時的生產環境 人員淨化及生活用房 工藝有要求(qiú)時的生產環境 工藝無要求時的生產環境 人員(yuán)淨化及生活用房 工藝有要求時的生產環境 |
相對濕度/% 冬 夏 | 30-50 按具體工程項目要求 50-70 按具體工程項目要(yào)求 | 工藝無要求時的生產環境 工藝有要求時(shí)的生產環境 工藝(yì)無要求(qiú)時的生(shēng)產環境 工藝有要求時的生(shēng)產環(huán)境 |
新風量/[M3/(人.H) | 40 | |
噪聲/DB(A) | <65 | 單向流及單向流與非單(dān)向流並存的潔淨室 |
照度/lX | 300-500 200-300 | 非單向流潔淨室(shì)主要生產用房(有低照度要求的如光刻、顯示器件(jiàn)等除外) 其它用房 |
照度均勻度 | 0.7 | |
靜電表麵電阻(zǔ)率 | 1*105—1*1010 | 一級標準為1*105—1*107 |
靜(jìng)電(diàn)體積電阻率 | 1*104-1*109 | |
地麵對(duì)地的漏泄電阻 | *105-1*108 | |
靜(jìng)電壓 | <50(45%相對濕度) | 4級(ISO)以上潔淨室 |
振動速度 振動加速度 振幅 相對位移量 | 根據工藝或精密設備、儀器儀表特性確定或參照國標《隔振設計(jì)規範》 | |
電磁幹(gàn)擾 | 4級(ISO)以上潔淨室,當(dāng)潔淨室靠近高壓輸配(pèi)電設施時尤為重要 |