潔淨室的（de）噪聲、微振與照度的測試

由於（yú）潔淨室對排除室內汙染物的要求高，因此比一（yī）般空（kōng）調房間的通風換氣量要大（dà）很多。1～5級（jí）高級別潔淨室的通風換氣次數甚至高達幾百次之多，是普通舒適性空調房（fáng）間換（huàn）氣次數的幾十倍（bèi）。正（zhèng）因為（wéi）需要巨大的通風（fēng）換氣量，從節省（shěng）驅動能耗及減少輸送氣流的（de）沿程（chéng）熱損耗的角（jiǎo）度出發，就要盡可能拉近機房與潔淨室的距離。這也正是廣泛采用裝置在潔淨室內的風機過濾（lǜ）器機組的原因之一。由（yóu）於機械設備運轉造成的機械振動（dòng）與（yǔ）噪聲（shēng）、空調淨化係統較高的（de）靜壓值及係（xì）統中氣流引起的噪聲與微振等，都比一般空調係統更為突出，因此潔淨室的噪聲與微振成為了其（qí）性能的關注目標之一（yī）。潔（jié）淨室內一般的生產操（cāo）作和設備都十分精細，過高的噪聲（shēng）與微振將影響（xiǎng）工作效率、產品成品率。同（tóng）樣，多數潔淨室対照度也有較（jiào）高要求，這也（yě）與其產品與工藝的（de）細微有關。
1、相關的標準與規定
潔淨室的噪聲、微振與照度，相關規範ISO 14644均未作具體要求，而是建議由用戶與（yǔ）供應商、承（chéng）包商依照（zhào）其它相關標準，采用協商一致的辦法在合同中規定（dìng）。工（gōng）程竣工時依合同的規定進行檢驗。國家（jiā）標準GB 50073-2001對噪聲的限（xiàn）製值規（guī）定如下：
（1）潔淨室內的噪聲聲級（空態），非（fēi）單（dān）向流潔（jié）淨室不應大於60dB（A），單向流、混合流潔淨室不應大於65dB（A）。各頻帶聲壓級不宜大於下表規（guī）定：

（2）潔淨室的（de）容許振動值，應由所設置精密（mì）設備（bèi）、精密（mì）儀器（qì）或儀表的設備製造（zào）廠商和生產工藝部門提供。當用戶和相關部門不能提供容（róng）許振動值時，國家標（biāo）準GB 50073-2001建議，可參照（zhào）GBJ22《隔振（zhèn）設計規範》執行。具體指標在檢測工作（zuò）開展之前，仍需與用戶及供應商、承包商協商確定。
國家標準GB 50073-2001對（duì）潔淨（jìng）室的照度有下表規定：

2、噪聲、微振與（yǔ）照度的（de）檢測
（1）噪聲測（cè）試
按照國內行（háng）業標準JGJ 71-90《潔淨室施工及驗（yàn）收規範》的規定，潔淨室麵積在15m²以下時，可在室（shì）中（zhōng）心位置測量房間噪聲，大於15m²時，一般按5個測（cè）點采樣，除房間兩對角線相（xiàng）交的室中心位置外，另在房間四角對（duì）角線上對稱的選取4點，測點高度一般距地麵1.1m。通常采用帶倍（bèi）頻（pín）程分析儀的聲級儀在（zài）規（guī）定位置測定噪聲，一般僅測A聲級的數值，必要時測倍頻程聲壓級。
對（duì）於（yú）噪聲有更嚴（yán）格要求的場所需要測定噪聲標準曲線NC或房間標（biāo）準曲線RC，可（kě）參考NEBB所編寫的《潔淨室評價測試的學習課程（chéng）》。
（2）微振測試
國內標準建議測（cè）點選在室中心地麵和（hé）認為有必（bì）要（yào）測試振（zhèn）動的位置和地（dì）麵上（shàng），以及壁板裝配式潔淨室的各獨立壁板表（biǎo）麵的中心處。
應分別測出室內全部空調（diào）淨化設備，處於正（zhèng）常運（yùn）轉和停止運轉兩種情況（kuàng）下，X、Y、Z，即縱向、橫向和垂直軸3個方（fāng）向上的振（zhèn）幅值，並應特別注意測定同轉動設備的轉速相（xiàng）對應頻率下的振幅。
選用振動分析計測定微振時，要注意其檢測精度是否（fǒu）滿足測試要求。
（3）照度測試
室內照明（míng）必須在室溫（wēn）已趨（qū）穩定（dìng），光源光（guāng）輸出趨於正常的條件下進（jìn）行。一般要求新裝日光（guāng）燈已有100h，新裝白熾（chì）燈已（yǐ）有10h使用期；舊日（rì）光燈（dēng）必須已點燃15min，舊白（bái）熾燈已點燃5min後（hòu）進行測試。
通常規定潔（jié）淨室（shì）照度隻測除（chú）特殊照明之外的（de）一般照明（míng）。國內標準規定，測點平麵離（lí）地麵0.8m，按1～2m間距布置，測點宜離地麵0.5～1.0m。
NEBB要求將房間劃分為0.6m見方的小麵積，在離地麵760mm的中心位置測照度，關於照（zhào）度平均值的獲得還有一（yī）係列規定與方法，詳見NEBB《潔淨室評價測試的學習課程》。