1379327227013793272270
粒子沉積測試在國外某些高級別潔淨室頗受重視。因為通過此項測試，可以讓用戶（hù）了解可能沉積（jī）到潔淨室工（gōng）作表麵或產品上的空（kōng）氣中懸浮粒子的數量（liàng）與粒子粒徑，這（zhè）對於分析產（chǎn）品的（de）成品（pǐn）率有較高的（de）參考價值。
其檢測的方式是用表麵特性與（yǔ）生產中所關注的表麵相類（lèi）似（sì）的測量采樣板，在潔淨（jìng）室內收集沉積粒子。再用光學顯微（wēi）鏡、電子顯微鏡或表麵掃描儀確定沉積粒子的粒徑與數量（liàng）；也可以用粒子沉降光度計獲得粒子沉積率的數據。後以每單位表麵麵積在單位時間內的粒子質量或（huò）數目來表示沉積粒子的數據。
1、測量采樣板上（shàng）沉積（jī）粒子的獲（huò）取方法
根據ISO 14644規定，測試中測（cè）量采樣板應放置在與存在工藝汙染風險表麵的同一平麵上，要維持測試采樣板的電勢與所關注的測試表（biǎo）麵相同，以排除因靜電勢不同而引起粒子沉積的差異，影響到測試（shì）結果的可靠性（xìng）。
具體的操作遵循以下程序和方法（fǎ）：
（1）驗證潔淨室各相關係統都在（zài）按要求正常運行；
（2）按要求（qiú）清潔測量采樣板，將其表麵粒子濃度減少（shǎo）到低水平。並在測試前測定各個標注有明顯標識的測量采樣（yàng）板上的粒子的背景濃度；
（3）留下20%的測量采樣板作對比用。所留下的這些采（cǎi）樣板與現場采樣的測量（liàng）采（cǎi）樣板的處理方式*相同；
（4）將測量采（cǎi）樣板放置到潔淨室規定的位置上。在運送到測試位置的過程中要防止空氣中懸浮粒子汙染測試采樣板表麵；
（5）在潔淨室內規定位置上暴露測量采樣板，以在測量（liàng）采（cǎi）樣板上得到足（zú）夠的粒子沉（chén）積量，足以獲得從統計學角度的有效數據為原則。暴露時間依潔淨室類型、運行（háng）方式和所使用的粒子計數儀器而定；
（6）而用作對比用的20%測量采樣板，則應存放在密閉容器中以防止被汙染。
2、測量采樣板上沉積粒子的計數和粒徑確定（dìng）
如果使用光學顯微鏡，可以用校準過的線性或圓形（xíng）量度板進行粒徑測量。如果使用電子顯微鏡，可以用（yòng）經（jīng）過校準的已知線距的光柵，對照實際粒徑與圖像尺寸在（zài）確定粒子（zǐ）尺寸（cùn）。如果用（yòng）表麵掃描儀，可用廠（chǎng）商提供的粒徑校準資料，進行各粒徑計數統計。
測量采樣板上部分麵積的計數數據，可以（yǐ）外推到整個采樣板，這樣就可統計由（yóu）各測量采樣板總麵積上（shàng）的粒子總數（Nt）以及按粒徑範圍的分類。各測量采樣（yàng）板表麵沉積的粒（lì）子濃度（dù）按下式計算：
Di=（Nt-Nb）/Aw
式（shì）中，Di為當設有多個測量采樣板時（shí）第i個測量采樣板所測得的粒子表麵沉積濃度，pcs/cm2；
Nt為第（dì）i個測（cè）量采樣板（bǎn）上的粒子總數；
Nb為第i個（gè）測量采樣板暴露於潔淨（jìng）室環境之（zhī）前采樣板上殘存的粒子總數，以未暴露的20%測（cè）量采樣板的平均值為準；
Aw為第i個測量（liàng）采樣板的（de）表麵積，cm2。
潔淨室或潔淨設施（shī）的粒子沉積率用平均（jun1）粒子（zǐ）表（biǎo）麵沉積濃度除以暴露時間。
3、測量采樣板材料與測試儀器
（1）測量采樣板材料（liào）
依據所要檢測的粒徑以及測量的儀器與方法不同，可選擇以（yǐ）下材料：微孔薄膜過濾器；雙麵膠帶；培養皿（mǐn）；帶有對（duì）比色（sè）（一般為黑色）的聚酯培（péi）養皿；照相膠片；顯微鏡膠（jiāo）片；玻璃或金屬鏡片；半導體晶片坯料；玻璃光掩膜基（jī）片。
測量板的表麵光滑（huá）度與待計數的粒子粒徑相適應，保證易於看到粒子，所（suǒ）采用（yòng）的測量手段與（yǔ）方法應能（néng）分辨出沉積在采樣板上的小粒徑。
（2）測量儀器
根據要求測量的沉積粒子粒徑（jìng）範圍的不同，可分別采用以（yǐ）下幾種儀器，選擇儀器時還要考慮收集、分析樣品（pǐn）要求（qiú）的時間等因素。
粒（lì）徑≥2um時，可采用光學顯微鏡；粒徑≥0.1um時（shí），采用表麵分析掃描儀；粒徑（jìng）≥0.02um時，可（kě）采用電子顯微鏡。
4、測試報告
除去測試報告常規的各項內容（róng）以外還應報告：
（1）儀器操作者或數據收（shōu）集設施的名稱；
（2）測試儀器的名（míng）稱或數據（jù）處（chù）理設施的（de）名稱；
（3）測（cè）試和測量類型、測量條件；
（4）測量點的位置；
（5）測量采樣時潔淨室和潔淨設（shè）施所處的狀態（tài）。
當前位置：