潔淨室（shì）汙（wū）染滲漏測試

ISO 14644明確規定此項測試，並（bìng）指出特別是對（duì）於1～5級（jí）高級別潔淨室應有效的進行此項測試。此項測試的目（mù）的是用以測定有無受汙（wū）染的空氣從周圍具有相同或不同靜壓的非受控區侵入（rù）到（dào）潔淨區，以評估（gū）潔（jié）淨室受周邊汙染的風險，為（wéi）采取相應措（cuò）施提供依據。此項測（cè）試可采用離散（sàn）粒（lì）子計數（shù）器或氣溶膠光度計（jì）。
1、使用離散粒子（zǐ）計數（shù）器測試汙染滲漏
（1）測量緊靠被評估潔淨室外部的粒子濃（nóng）度，該濃度應該比潔淨室高出10⁴倍，並且其濃度（dù）至少等於3.5*10⁶個待測粒徑的粒子。如果（guǒ）濃度小於該（gāi）值，為確保測試的可靠（kào）性應使（shǐ）用氣溶膠發生器（qì）生成氣溶膠，以提高相鄰外部空氣中懸浮粒子的濃度。
（2）檢查（chá）通過施工接縫或裂縫的滲漏情（qíng）況時，要在潔淨室內離待測縫隙（xì）或齧合麵5～10cm距離上進行掃描，其掃（sǎo）描速度約為5cm/s。
（3）當（dāng）檢查敞開門廊（láng）處的侵入情況時，應在潔淨室內距開敞門口（kǒu）0.3～3.0m的距離上測量。
（4）記錄並報告（gào）較所測得（dé）的外部（bù）氣溶膠粒子濃（nóng）度（dù）大於10^-3倍的讀值。
2、使用氣溶膠光度計測試汙染滲漏
按（àn）照（zhào）在現場檢漏高效空氣（qì）過濾器時（shí）相同的要求，在潔（jié）淨室或潔淨設（shè）施處生成足夠高濃度的氣溶膠，使（shǐ）得氣溶（róng）膠光度計在0.1%設定值時超（chāo）負荷，氣（qì）溶膠光度（dù）計在0.1%設定值的讀值超過0.01%就表（biǎo）明有滲漏。
當檢查通過施工裂縫或焊縫的滲漏情況時（shí），要在離待測縫或密封表麵5～10cm的距離上掃描封閉體內部，掃描速度（dù）約為5cm/s。
當檢查敞開的門廊處的侵入情況時，在距離敞開的門0.3～1m的（de）距離上測量（liàng）封閉體內部的濃度。
記錄並報（bào）告所有超過氣溶膠光（guāng）度計0.01%標度的讀數。
3、測試報告
除去測試報告常規的各項內容外（wài），還應特別報告：
（1）數據采集方（fāng）法及相關細節；
（2）測量點的位置；
（3）測量工作在潔淨室所處何種（zhǒng）狀態下進行。