潔淨室氣流目檢的目的及方法（fǎ）

氣流（liú）目檢的目的是確認潔淨室或設施中氣流的空間與時間特性，這是整個測試程序的組成部分。為了有效的稀釋或（huò）排替（tì）室內空氣的懸浮汙染物，從而防止室內的汙染積累，以維持其所需的潔淨度。因（yīn）此（cǐ），室內合理的氣流流型，以及充分的氣流流動至關重要（yào）。
為保證關鍵（jiàn）區域達到（dào）潔淨的水（shuǐ）平，希望送風直接來自（zì）高效過濾器（qì）出風口，但設備、照明燈具所產生的熱量有可能幹擾（rǎo）氣（qì）流，障礙物會妨礙送風進入關鍵區；障礙物或工（gōng）藝設備的外形，可使單向流變成紊流等。通過目檢氣流的運動（dòng）狀況，可以（yǐ）發現是否存在上述相關情況，可以發現在哪些（xiē）部位（wèi）形成了渦流，不利於汙染物排除。
1、氣流目檢的方法
可用以下3種方法進（jìn）行氣流目（mù）檢：
（1）示蹤線法
（2）示蹤劑注入法
（3）用圖像處理技術檢測氣流（liú）的方法（fǎ）
前兩種方法實際上是用置於（yú）流場的纖維示蹤（zōng），或利用引入流場的示蹤微粒物質來目檢（jiǎn）潔淨室或潔淨設施中氣流的流向。用攝像機、化學膜、磁盤或磁帶記錄下各不同位置氣（qì）流的分布圖。
目檢中所采用的纖維（wéi）示蹤線或（huò）示蹤（zōng）微粒應對潔淨室無汙染，同時能確切的跟隨、反（fǎn）映氣流的（de）流線。
第三（sān）種方（fāng）法適（shì）用於要求量化潔淨室或設施內氣流速度分布（bù）的情（qíng）況，這種（zhǒng）方法是基於示蹤粒（lì）子的（de）計算機圖像處（chù）理（lǐ）技術，對檢測（cè）設備的要求較高。
2、氣流目檢的操作
無論采用何種方法，在檢測中都要（yào）格外注意防止操作者幹擾正在進行考察的氣流。具體操作方法（fǎ）如下：
（1）示蹤線法（fǎ）
通常（cháng）把單根尼龍纖維、絲線或塑料薄膜帶等輕柔物質固定在（zài）支撐（chēng）杆的尖頂，並（bìng）將（jiāng）其置（zhì）於氣流中或綁紮在處於（yú）氣流中的細鋼絲網格的（de）交（jiāo）叉點處（chù），以觀察氣流的方向和（hé）因幹擾引起（qǐ）的氣流波動（dòng）。為觀察方便、清晰，較強的（de）照明是必要的。
（2）示蹤劑注入（rù）法
通常采用的示蹤材料如去離子（zǐ）水，噴霧法或化學法生成（chéng）乙醇（chún）/正二醇等材料的示（shì）蹤（zōng）粒子。要求示蹤劑（jì）對（duì）環境，特別是（shì）對潔淨室及設備表麵（miàn）無汙染，同時（shí）便（biàn）於形成合適的粒（lì）子尺寸。過小液滴尺寸不利於圖像處理技術的圖像質量，過大（dà）的液滴尺寸又（yòu）可能在運動過程中受重（chóng）力和其他力作用的影響而偏離氣流流線。測試中靠高強（qiáng）度光源在隨（suí）氣流運動的示（shì）蹤（zōng）粒子（zǐ）表麵形成的（de）反射，便於測試者用眼睛觀察或用設備形成（chéng）圖像，來判（pàn）定氣（qì）流的方向（xiàng）和均勻性。
（3）用圖像處理技術檢測氣流的方法
采用上述（shù）示蹤劑注入法得到的在攝像機（jī）或膜（mó）上的粒子（zǐ）圖像數據，用配置有適（shì）用接口的計算機，通過記錄相（xiàng）關資料數字的處理軟件，在（zài）計算機屏幕上可觀看氣流特性（xìng），還在所觀測氣流中可輔以激光光源等裝置以提高其空間分辨率。
3、關於氣流流型的測點（diǎn）布置
ISO 14644等相（xiàng）關標準對測點布置未作規定，建議由用戶（hù）與供應商（shāng）協商，選擇測量（liàng）點的數目和位置（zhì），測試點或平麵位置定在臨界工作（zuò）平麵內。如果要評估氣流方向（xiàng）的均（jun1）勻性，則宜選擇較多的測點。因此，一般由測試單位按常規提出方（fāng）案，征得用戶和供應商（shāng）、承包商（shāng）認同即可。
國內行（háng）業標準JGJ71-90《潔淨室施工及驗收規範》中，作了如下規定：
（1）垂直單向流潔淨室選擇縱、橫剖麵各1個，以及距地麵高度0.8m、1.5m的水平麵各1個；水平單向流潔淨室選擇縱剖麵和工作區高度水平（píng）麵各1個，以（yǐ）及距送、回風牆麵0.5m和房間中（zhōng）心處3個橫（héng）剖麵。所有（yǒu）麵上的測點間（jiān）距均為0.2～1m。
（2）亂流（liú）潔淨室選擇（zé）通過代表性（xìng）送風口中心（xīn）的（de）縱、橫剖麵和工作（zuò）區高（gāo）度的水平麵各1個。剖麵上測點間距為0.2～0.5m，水平麵（miàn）上測（cè）點間距為（wéi）0.5～1m，兩（liǎng）個風口之間的中心線上應有測（cè）點。
4、測試報告
按照用（yòng）戶與供應（yīng）商、承包商的協（xié）議，在（zài）報告中應（yīng）提供以下資料和（hé）數據：
（1）測試單位的（de）名稱、通信（xìn）資料，測試人姓名、測試日期；
（2）所測潔淨室或設施名稱及毗（pí）鄰區域的名稱、測試點坐標；
（3）參照的相關標準編號、版本日期、的性能標準（zhǔn）及潔淨室所處狀態；
（4）由雙方認（rèn）可的、所采用的測試方法與常規方法不同之（zhī）處或特殊條件；
（5）測試儀器的名稱及其校準狀態（tài）；
（6）測試類型、目檢方法和測試條件；
（7）目檢點位置；
（8）按規定記錄的圖像，采用圖像處理技術或速度分布測量時，各（gè）次測量的原始數據。