地板電阻、氣流平行度的檢測步驟（zhòu）

一、地板電阻檢測步驟：
檢測目的：測定（dìng）潔淨室地板的接地電阻值。
檢測（cè）儀器設備：3M型（xíng）701 5磅帶導電（diàn）橡膠電極（jí）檢測（cè）儀
檢測（cè）條件：靜態
平均值：0.1～10MΩ（ ISO 4級潔淨室與更（gèng）衣室（shì））
檢測步驟：
1、預檢查測試點在整個潔淨室範圍內（nèi）隨機選擇。
2、在檢測過程中測試電壓為100V並持續15s。
3、接（jiē）地電阻的測量方法為將（jiāng）電（diàn）極組件置於所選擇（zé）的地板。電阻計的另一頭接到合適的接地點。
4、將電極放置在所選地板的中（zhōng）心位置（zhì），讀（dú）值並記錄2次。
5、潔（jié）淨室的（de）平均接地電阻由記錄的數據計算得出。
二、氣流平行度檢測步（bù）驟
檢測目的：驗證潔淨室氣流平行度（僅（jǐn）針對ISO 4級單向流潔淨室）
檢測（cè）裝置：單絲飄帶、測量（liàng）卷尺、指針、支架。
檢測條件：靜態
大角度偏差：≤14°
大（dà）允許距離：≤31cm
檢測步驟：
1、將單（dān）絲飄帶懸掛在過濾（lǜ）器表麵（miàn），其位置分布大致反（fǎn）映房（fáng）間氣流場。
2、使用測量卷尺或直（zhí）尺，量度並（bìng）記錄距地（dì）麵1m處的垂直偏差。