潔淨室用檢測儀器（qì）--光散射氣浮微粒（lì）測定儀的使用原理與使用注意事項

1、名稱
光散射氣浮微（wēi）粒測定儀（yí）有多種名稱，例如光學粒子計數器、氣（qì）載粒子計數器、離散粒子計數器（qì）、潔淨空間用光散射氣載微粒計數器、塵埃粒子（zǐ）計數器等，國（guó）內使用多（duō）的是塵埃粒（lì）子計數（shù）器。
2、原理
光束遇到微粒會產生散射，散射光脈衝的個數對應微粒的個數，散射光（guāng）脈衝的強度對應微粒的尺度。因此測定散（sàn）射光脈衝個數就可以知道微粒的個數，測定散射光脈衝的強度就（jiù）可以知（zhī）道微粒的（de）尺（chǐ）度，同時測定氣體的流量（liàng）就可以計算出氣體中微粒（lì）的（de）濃度。
3、結構
（1）氣流係統：包括：流量計、高效過濾器、抽氣泵、氣（qì）體管道等。
（2）光學係統：包括：平行光源（yuán）、散射腔、凹麵鏡、聚光鏡等。
（3）顯（xiǎn）示係統：包括：光電轉換器、電（diàn）子放大器、脈（mò）衝分析器等。
（4）電源係統：包括：光束電源、抽氣泵電源、顯示係統電源等。
4、技術要求
技術要求有：流量不確定度越小越好；自淨時間越短越好（hǎo）；計數重複性越小越好；計數離散度越小越好；計數不確定度越小越好；粒度分布不確定度越小越好。
5、使用注意事項
（1）使用前應檢查儀器運行是否正常。光散射氣浮微粒測定（dìng）儀運行是（shì）否正常主（zhǔ）要表現在幾（jǐ）個方麵：氣流是（shì）否通暢；抽氣泵是否有雜音；顯示（shì）是否清楚；計數是否平穩。
（2）使用比對性標準（zhǔn）器檢查計數是否正常。比對性的標準器可以根據自身條件選取。一種可靠易得的比對性標準器是長（zhǎng）期關閉、閑置房間中的空氣。根（gēn）據長（zhǎng）期檢測經驗，這種空氣中（zhōng）的顆（kē）粒物濃度非常穩定，適合作為比對性的標準器。
（3）嚴格防止“髒空氣”進入氣（qì）流係統。髒空氣進入氣流係統有可能汙染係統壁，係統壁上的汙染物在氣流（liú）的衝擊下一旦脫落就有可能產生測定誤差。
（4）進可能采用“等（děng）速”采樣。氣流速度改（gǎi）變時，氣流中大、小（xiǎo）顆（kē）粒的加速度不相同，大、小顆粒（lì）的（de）沉降速度也跟著改變，從而改變了氣體中大、小顆（kē）粒的比（bǐ）例和濃度，致使測定（dìng）的顆粒濃度不是潔淨室原來（lái）的（de）顆粒（lì）濃度。所以應盡可能（néng）采（cǎi）用“等速（sù）”采樣。
（5）嚴格防止（zhǐ）儀器（qì）操作人員（yuán）散發微粒影響測定結果。人員散發的顆粒物是潔淨室主要的顆粒物來源之一（yī）。操作檢測儀器的（de）人員（yuán）散發的顆粒物會使顆粒濃度增大，從而產生較大的檢測誤差。具（jù）體做法是（shì）：儀器操作人員的服裝應清潔；儀器操作人員應外加潔淨服；檢測（cè）時儀（yí）器操作人員應盡可能遠離采樣點；采樣時（shí）儀器操作（zuò）人員盡可能少動。
（6）換測定點後要等儀器計數（shù）穩定（dìng）後再讀數。因人員和儀器的移動會擾動空氣，從而改變顆粒物的（de）分布（bù），產生檢測誤差，所以應該（gāi）等（děng）待儀器計數穩定後再讀數。
（7）儀器存（cún）放時應封閉進氣口。異物（wù）進入氣流係統有時會（huì）汙染氣流係統和散射腔。
（8）儀器使用前應先開啟進氣口（kǒu）。使用光散射氣浮微粒測定（dìng）儀時如果先啟動儀器，發現流量或計數不對後再開啟進氣口，這種操作容易損傷抽氣泵和過濾膜。