
為防止汙染(rǎn)物透過圍護結構縫隙侵入(rù)潔淨室(shì),潔淨室及(jí)潔淨設施的圍護結構應有(yǒu)良好的(de)氣密性,同時和不清潔的(de)周邊環境要維持一定(dìng)的正(zhèng)壓(yā)差。潔淨室(shì)的正壓(yā)是靠(kào)送風
與回風
和排(pái)風
的(de)差(chà)值實現的。
當潔淨室相對於(yú)周邊環境具有
的正(zhèng)壓差,則通過潔(jié)淨室的縫隙(xì)、開孔外溢的氣流(liú)量
為:
(式一)
此時(shí),潔淨室相對周圍的正壓
為(wéi):
(式二)
式中,
為空氣流過(guò)縫隙或孔口的局部阻力係統(tǒng);
為空氣流過縫隙或孔口的流速,m/s;
為空氣密度,kg/m3。
由(yóu)式二可得:
則維持
正壓時的泄漏(lòu)風量為:
(式三)
式中,
為縫隙或孔(kǒng)口的(de)過流麵積,m2。
由式三可知維持的正壓(yā)值越高(gāo),縫隙(xì)或孔口的合計麵積
越大,則泄漏風量也越多。過多的無效泄漏風量將增大受控環境的能耗,因此應關注其氣密性(xìng),在維持必要(yào)壓差條件下減低(dī)其泄漏風量。值得注意的是,根(gēn)據上述分析,在進行潔淨室壓差檢測之前(qián),必須先驗證在潔(jié)淨室或潔淨設施(shī)正常工作時(shí),應該關閉的(de)門全(quán)部(bù)關閉(bì)條件下的送風量與回風量、排風量是否與(yǔ)規定風量相(xiàng)符。在此前提下,再逐一測定封閉的潔淨室和周圍附(fù)屬環境之間、周圍附屬環境(jìng)與外部環境間的壓差。如無周圍的附屬環(huán)境,則測定與(yǔ)記錄下封閉的潔淨室與外部環境之間的壓差。
通常使用電子微壓計、傾斜式微壓(yā)計或機械式壓差計來測定區間的壓差。
按照 GB50073-2001《潔淨廠房驗收規範》的規定:不同等級潔淨(jìng)室及潔淨區與(yǔ)非潔淨區之間(jiān)的壓差應不小於5Pa,潔淨區與室外的壓差應不小於10Pa。
國內行業標準 JGJ71-90《潔淨室施工及(jí)驗收規範》除與GB 50073-2001的規定相同外(wài),並對ISO 5級(jí)以上的單向流潔淨室有如下規定:潔淨度(dù)高於5級的單向流潔淨室(shì)在開門狀態(tài)下,在出入口的室內側0.6m處不應測出超(chāo)過室內(nèi)級別上限的濃度。