潔淨室的性能監測

為了在潔淨室運行過程中及時了解與判定潔淨室所處狀態是否符合設計（jì）要求和滿足生產的需要，潔淨室應定期對其主要技術性能指標進行周期性監測，某些高級別潔淨室（shì）對一些關鍵（jiàn）性指標甚（shèn）至設置了連續巡查的裝置，以便及時判定潔淨室的受控狀態。
1、（表1：）標準ISO 14644-2的規定

備注：這（zhè）些測（cè）試可按照規定的ISO等級在動態或靜態條件下進行；
a.氣流量可用風速或風量測量（liàng）方法測得。
b.本項測試不適用於非全封閉的潔淨區。
除（chú）上表規定的標準測試外，ISO 14644-2還給（gěi）出了（le）任選項目的測試，下表所列的任選項目測試也可包括在測試項目中。
（表2：）任選項目測試的時間間隔：
 
ISO 14644-2對潔淨室監測還作出了如下一些補充規定：
（1）除表1所列的標準監測項目外，用戶與承包商可共同商定增添其他的測試（shì）項目（mù）。
（2）如果（guǒ）潔（jié）淨室裝置了懸（xuán）浮粒子濃度和壓差的監測儀表（biǎo），並連（lián）續（xù）或頻繁的進行監測，且監測結（jié）果始終處於（yú）規定的限製以（yǐ）內，則可延長（zhǎng）表1所列的（de）時間間隔（gé）。
（3）如果監測（cè）數據出現超過規定限製（zhì）的（de）情（qíng）況，標明潔淨（jìng）室不符合要求，要（yào）及時采取適當的補救措施，補救措施（shī）完成後應（yīng）對潔（jié）淨（jìng）室進行再認定，若符合要求（qiú），就可以恢複例行監測（cè）。
（4）懸浮粒子濃度及其它參數（shù）的例行監測（cè）一般是在動態下進行。
（5）懸浮粒子的監測計劃是根據潔淨室的風險分析與評估（gū）製定的。該計（jì）劃中應該（gāi）包括的內容有：預先設（shè）定的采樣裝置，每個空氣樣本的小采樣量、采樣的時間長短、采樣的時間間（jiān）隔、測量的粒徑、計數（shù）的許可（kě）限製。如果需要還可包括報警值、行動限製、漂移值。
2、國家標準GB 50073-2001關於監測的（de）規定
GB 50073-2001對潔淨（jìng）室的監測作了如下規定，確認潔淨室或潔淨區符合規範要求應進行三項測試：
（1）空氣潔淨度測定（生物潔淨室應進行浮遊菌、沉降菌（jun1）測定）；
（2）靜壓（yā）差（chà）測試；
（3）風速或風量測試。
三項測試的長時間間隔分別列於下表3和表4中。
（表3：）空氣潔淨度等級認證的測試要求

（表4：）靜壓差和風速（風（fēng）量）認證的測試要求

備注：如果潔淨（jìng）室或潔淨區已對粒（lì）子濃度、風速、靜壓差執行連（lián）續監測，並且其（qí）測試值均符合本規範要求，則認證的測（cè）試時間間隔可（kě）延長。具體間隔時（shí）間，可與認證單位洽商。
a.空氣潔淨度等級認證，可在（zài）靜態或動態檢測，洽商確定。
b.風量測定，用（yòng）風速計在風口或風管測定。
c.該項（xiàng）測試不適用於潔淨區。