潔（jié）淨室的基本參數及特殊參數

一（yī）、基本參數
1、潔淨度
潔淨（jìng）度是潔淨室的重要（yào）基（jī）本的技術指（zhǐ）標。其單位是：單位體積的空氣中粒徑不小於某一尺度的微（wēi）粒個數。尤其（qí）是微電子行業對於潔淨室的要求較（jiào）高。
2、微生物（wù）濃度
微生物濃度是潔淨室的另一項重要技術指標。其單位是（shì）：單位體積的空氣中微生物個數。生物工程行業對於微生物濃度的要求較高，其次是醫療、製藥、食品、飲料、化妝品（pǐn）等行業。空氣中的微（wēi）生物是空氣微粒的一部分，確切的說是危害較大的一部分。通（tōng）常測（cè）定的（de）是空氣（qì）中細菌的濃度。
3、溫度
溫（wēn）度是基本的（de）工作（zuò）條（tiáo）件，幾乎所有的潔淨室對於溫度都（dōu）有明確的要求。溫度會影響植體的尺（chǐ）度，從而影響加工（gōng）的度，從而影（yǐng）響加工的度，所以精密加工對（duì）於（yú）溫度有相當嚴格的要（yào）求。溫度會（huì）影響儀器的參數（shù），從而產（chǎn）生測定誤（wù）差，所以精密測量儀（yí）器對於溫（wēn）度的要求也較高。
4、濕度
濕度也是基（jī）本的工作條（tiáo）件，幾乎所有的潔淨室對於濕度都有明確的要求。濕（shī）度過大（dà）會（huì）使許多物質發生化學反應（yīng），從而影響產品（pǐn）質量，甚至使設備失效，產（chǎn）品報廢。濕度過低又會使許多物質脫水變形，失去原有的功能。
5、風速與風量
足夠的風速與風量是（shì）潔淨度的保證，過大的風速與風量不僅浪費能量，而且（qiě）有時會影響正常的工作。
6、氣壓（yā）與壓差
正常的氣壓是正常（cháng）工作的基本條件。必要的壓差是控製漏氣（qì）方向的手段。微電子行業的潔淨（jìng）室為了保證潔淨度，不允（yǔn）許低潔淨度的空氣向（xiàng）高潔（jié）淨度區域泄露。病毒（dú）實（shí）驗室或傳（chuán）染病房不允許室內空氣（qì）向室外泄露。
7、噪聲
過大的噪聲不僅會影響（xiǎng）正常的工作（zuò），而且會影響人員的身體健（jiàn）康，降低噪聲是潔淨度的一項基本要求。
8、照度
適當的照度（dù）是正常工作（zuò）的（de）必要條件（jiàn）。
二、特殊參數
1、振動
振動會影響儀（yí）器設備的穩（wěn）定性，從而影（yǐng）響儀器的準確度，還會影響設備的加工度，所以有些潔淨室需（xū）要控製振動。
2、靜電
靜電有許多危害，特別（bié）容易損壞微電（diàn）子元件，所（suǒ）以微電子行業采取相應的防護措施，預防靜（jìng）電的產生或者使產生的靜電能夠（gòu）及時泄漏，以減少靜電對電子行業所造成的損失。
3、有害氣體濃度
有害氣體的種類繁（fán）多，有的會損害人體（tǐ）健康，有的會影響產品質量和產品（pǐn）合格率，所以潔淨度需要控（kòng）製有害氣體濃度。
4、輻射強度
X射線、Y射線、電磁波等輻（fú）射對人體有較大的的損害，有時對生產設備（bèi）或產品也（yě）有損害（hài）。