潔淨室的排風係統

1、潔淨室的（de）局部排風
1）潔淨廠（chǎng）房內的各種（zhǒng）生產過程中不可避免（miǎn）的有各類粉塵、有害氣（qì）體、有害物質的產（chǎn）生。防止它們在潔淨室內（nèi）擴散或造成汙染的有效方法是在產生處采取局部排風措施及時有效的將（jiāng）汙染物排至室（shì）外。為此，GB50073--2013《潔（jié）淨廠房（fáng）設計規範》規定：潔淨室內產生粉塵和有（yǒu）害氣體的工藝設備，應設置局部排風裝置（zhì）。應根據各類工藝設備產生的粉塵、有害氣體和有害物質的性質、濃度等因素選擇設置合理的局部排風裝置。以下情（qíng）況的局部排風係統應（yīng）單獨設置：
a.排（pái）風介質混合後能產生或加劇腐蝕性、毒性、燃（rán）燒爆炸危險性和（hé）發生（shēng）交叉汙染。
b.排風介質中含有有毒與無毒物質，且毒性相差非常大。
c.同時存在易燃、易爆與一（yī）般排風。
2）在設計（jì）潔（jié）淨（jìng）室的排風係統時，應采取（qǔ）以下措施：
a.為防止（zhǐ）在潔淨室（shì）空（kōng）調係統停止運行時，室外空氣（qì）倒灌入室（shì）內，引起汙染和積塵，應采取（qǔ）防倒灌措施（shī）。工程常用的防倒灌（guàn）措（cuò）施有：
①設置中效（xiào）空氣過濾器（qì），這種方式結構簡單，維護方便；
②采用止回閥，使用方便，但密封性較（jiào）差；
③采用密閉閥，密閉性好，但結構複雜（zá），管理（lǐ）不便；
④采用自控裝置。
b.含（hán）有易燃、易爆局都排風係統時，應采用與排出物（wù）質相適應的防火、防爆措施。
c.排風介質中有害（hài）物濃度及（jí）排放量超（chāo）過國家或地區有害物排放濃度及排放（fàng）量（liàng）規定時，應進行無害處理，達標後才能排入大氣。
d.對含有水蒸氣和凝結性物質的排風係統（tǒng），排風口應有一定坡度，以便及時排出凝結液。
潔（jié）淨廠房內的換鞋、存外（wài）衣、洗（xǐ）浴、廁所和淋浴等產（chǎn）生輔助房間，應采取通風措施（shī），其室（shì）內的靜（jìng）壓（yā）值，應低於（yú）潔淨（jìng）區。
潔淨室應根據生產工藝要求設置事故排風係統（tǒng）。事故排（pái）風係統應設自（zì）動和手動控製開關，手（shǒu）動控製開關應分別設在潔淨室及潔淨室外便於操作的（de）地點。一般對於有可能散發有害氣體或易燃，氣體或易燃、易爆氣體的潔淨室(區)應設事故（gù）排風裝置。
2、排風裝置的分類及處理設備（bèi）
在微電子生產用潔淨室和藥品（pǐn）生產用潔淨室中，常常會在產品生產過程中使用或產生某些特（tè）定的酸性或堿性物質、有機溶（róng）劑和氣體；在致敏性藥（yào）物、某些甾體藥（yào）物、高活性藥物和有毒性（xìng）藥物生產過（guò）程中還會有相應的有害物（wù）質排出或滲入潔淨室（shì）內。對於上述潔淨室，在（zài）可能排出各種有害物質、氣體（tǐ）或粉塵的生產工藝設備或工序處應（yīng）設置局部排（pái）風（fēng）裝置或（huò）采取全室排風（fēng）裝（zhuāng）置。按生（shēng）產（chǎn）工藝過程排出的廢氣的種（zhǒng）類，可將排風裝置（係統）大體劃分為以下種類型（xíng）：
（1）一般排風係統（tǒng）
在生產輔助用室和（hé）生活用室，如值班室、衛（wèi）生（shēng）間等（děng）排出的一般廢氣，大多數情況下不需（xū）要進行特殊（shū）處理即可直接排入大氣。
（2）有機氣體（tǐ）排風係統
在產品生產中使用某些有機物質、溶劑作為原輔材（cái）科或清（qīng）洗（xǐ）劑時，都將會在相關的場所或設備處散發有機物質（zhì）、溶劑的氣體，對這類場（chǎng）所或設備均應設置排風裝置。在（zài）一般情況下，有機排風係統中的（de）有機氣體濃度是很低的，若能達到國家規（guī）定的大氣排（pái）放標準時（shí），可直接（jiē）排入大氣，不需設置廢氣處（chù）理（lǐ）裝置；當排風係（xì）統中（zhōng）有機氣體濃度超過規定時，應（yīng）設有機氣（qì）體排放裝置，經過處理（lǐ）達標後才能排入大氣（qì）。有機氣體排氣的淨化處理方法有活性炭吸附法（fǎ），吸收（shōu）法和催化燃燒法等。活性炭吸附法主要用於中小流量的（de）不含粉塵、膠粘物質（zhì）的苯類和汽油類有機氣體排氣的處理（lǐ）；吸收法設備簡（jiǎn）單，耗能低（dī），但吸收（shōu）效率不高；催化（huà）燃燒法主要用於較高濃度的（de）苯類、醇類、脂類和汽油等有機氣體排氣的處理。有機氣體排氣處理裝置應根據排風係統所含有機物（wù）質的品種、濃度等情（qíng）況（kuàng）選用。
（3）酸性氣（qì）體排風係統
濕法化學腐蝕、酸液清洗實驗室（shì）內均有（yǒu）酸性氣（qì）體（tǐ）排出，在這類酸性氣體的排風係統通常設有濕式洗氣吸收塔，處理後（hòu）排入大氣。實際設計時（shí）應根（gēn）據（jù）酸性氣體的類型（xíng）、濃度選用合適的吸收液和吸氣塔的形式。
（4）堿性氣體（tǐ）排風裝置
若排風係統氣體中含有堿性（xìng）物質或（huò）排（pái）氣（qì）中混有堿性化學試劑時，與酸性氣體排風係（xì）統類（lèi）似，通常采用濕式洗氣吸收（shōu）塔處理後排入大氣（qì）。近年來，由於大氣排放（fàng）標準越來越嚴格，含有（yǒu）堿性物質（或酸性物質）濃度較低的排氣也應進行淨化處理才能達（dá）到（dào）排放標準。為此，可（kě）采用吸附劑對堿性排氣（或酸性排氣）進（jìn）行（háng）處理達標後再排入大（dà）氣。此種吸附劑一般（bān）為一次性的，使用後應進行集中處理，通常作（zuò）為固體廢（fèi）棄物在城市（shì）垃圾場集（jí）中處理。
（5）熱（rè）氣體排風係統（tǒng）
生產過程中的各種爐子、高（gāo）溫（wēn）滅菌設備等均有熱氣（qì）排出，由於排氣溫度較高，有時（shí）可采用熱回收等方式進行處理，若排氣量較小或不便進行處理時，可在采取必（bì）要的隔熱措施後（hòu）直接排（pái）入大氣。
（6）含粉塵的（de）排（pái）風係統
產品品種不同（tóng），生產工藝（yì）過程（chéng）不同，排（pái）氣中的粉塵性質也不同。應根據排（pái）氣中的粉（fěn）塵性質、濃度（dù）選用不同（tóng）類型的除（chú）塵裝置，一般采用布袋除塵器或帶（dài）過濾元件的過濾除塵裝置。對於某些（xiē）含塵濃度（dù）很高的排風係統，根據工藝（yì）具體情況，有（yǒu）時需設置二級除塵裝（zhuāng）置，先將大部分粉塵去（qù）除後再送（sòng）入布袋除塵或過濾除塵裝置，才能滿足大氣（qì）排放標準的要求（qiú），從而保證（zhèng）係統穩定、經濟的運行。
（7）特殊氣體排放係統
在半導體集（jí）成（chéng）電路生產中常常需要使用一些（xiē）特殊氣體，其中許多特殊氣體屬於易燃易爆、或（huò）有毒甚至劇毒、或（huò）有腐蝕性的氣體，對於這類氣體的排放係統，首先應按特殊氣體的品種（zhǒng）、性質進行劃分，以防止在（zài）排放係統中（zhōng）產生化學反應；其次選（xuǎn）用的廢氣處理裝置。特殊氣體排放的處（chù）理方法（fǎ）通常有稀釋法、吸收法、催化燃燒法（fǎ）和吸附法等。排放係統（tǒng）的設備、管道的材料選用必須根據排氣中的特殊氣體性質選擇相應的材質，以防止與（yǔ）特殊氣體發（fā）生（shēng）反應。
（8）藥品生產中有害、有毒物質的排風係（xì）統
在生產（chǎn）或分裝青黴（méi）素等強製敏性藥物及高活（huó）性、有毒（dú）性藥物的房間和二（èr）類危險度（dù）以上病原體操作區的排風口，應安裝過濾器，將這些藥物引起的汙染（rǎn）危險降低至低限度。此類排風（fēng）係統的排風口與其他藥品生產用淨化空調係統的新風口應相隔（gé）一定距離。
3、排風係統用材料
潔（jié）淨室內（nèi）排風（fēng）係統的處理設備、風管及附件(如密（mì）閉閥（fá）、調節閥和止回閥等)的製作材料、保溫材料和塗料，應根據排出氣體的性質所處的（de）空（kōng）氣環境等（děng）確定。GB 50073-2013《潔淨廠房設計規範》中明確規（guī）定，潔淨（jìng）室的排（pái）風管、附件以及輔助材料的選擇應符合以下要求：
1）排風係統的風管（guǎn）應采（cǎi）用不燃材料。這裏所說的不燃材料是各種類型的金屬（shǔ）板（bǎn）材，包括碳（tàn）鋼、不鏽鋼和有色（sè）金屬板材，具體選用應按排氣的性質。
2）排除腐蝕性氣體的風（fēng）管，應采（cǎi）用耐腐蝕的難燒材料（liào）或難燃材料。這裏所說的難燒材料主要是（shì）氧指數≥32的玻（bō）璃鋼等。
3）附件、保溫材料、消聲材料和塗（tú）料等均采用不燃材料或難燃材（cái）料。這裏（lǐ）所指的不（bú）燃材料主要是岩棉（mián）、玻（bō）璃（lí）棉等；難燃材料主要是氧指數（shù）≥32的橡塑海綿、聚氨酯等。