潔淨室送風係統

（1）集中送風方式
這種送風方式一般（bān）是數台（tái）大型新風處理機組和（hé）淨化循環機組集中設置在空（kōng）調機房內，空調機組可位於潔淨室的側麵或頂部。經過溫（wēn）濕度處理和過濾後的空氣由離心風機或軸流風機加壓（yā）後通過風道送入（rù）送風靜壓箱，再由空氣過濾器或（huò）超空氣過濾器過濾後送入潔（jié）淨室。回風經格柵地板係（xì）統，流入回風靜壓箱（xiāng）再回到淨化循環係統，如此（cǐ）反複循環運行。
（2）隧道潔淨室送風方式
這種送風方式一般將潔（jié）淨室劃分為生產核（hé）心區和維（wéi）護區，生產核心區要求高潔淨度和嚴格的溫濕度控製，設在（zài）單向流送風區內；維護區要求較低，設置在生產輔助設備或無潔（jié）淨要求的生產（chǎn）設備的尾部或配管配線等。生（shēng）產區為送風區，維護區為（wéi）回風區（qū），構成空氣循環係統。一（yī）般隧道式送風是由多個空氣循環係統組成，所（suǒ）以其中一台循環機組出（chū）現故障不會影響（xiǎng）其他區域生產環境的潔淨度，並且各個循環係統可根據生產需（xū）要進行分區調（diào）控。
（3）風機過濾單元送（sòng）風方式
在潔淨室（shì）的吊頂上安（ān）裝多台風機過濾單元(FFU)機組，構成循環係統（tǒng），不需要配（pèi）置淨化循環空調（diào）機房，送風靜（jìng）壓箱為負壓（yā）。空（kōng）氣（qì）由FFU送到潔（jié）淨室，從回風靜壓箱經兩（liǎng）側（cè）夾道回至送風靜壓箱。根據潔淨室的溫度調（diào）節（jiē）需要，一般在回風夾道設幹式（shì）表冷器。新風處理機可集中設在空調（diào）機房內，處理後的新風直接送入送風靜壓箱（xiāng）。因送（sòng）風靜壓箱為負（fù）壓，有利於空氣過濾（lǜ）器頂棚的密封；但由於FFU機組台數較多，在滿布率較高時，一般投資較大，運行費用也（yě）高。有些FFU噪聲較大，選用時需要注意（yì）。
（4）模塊式風機單元送風方（fāng）式
這種送風方式是送風機（jī）安裝在空氣過濾器或超空氣過濾器之上，1台送風機可配置數台過濾器（qì）的空（kōng）氣循環係統。這種模塊式風機（jī）單元循環係統屬無管道方式，空氣輸（shū）送速度較低，送風機和過濾器維修較方便，能量消耗較少（shǎo）。
（5）微環境+開放式潔（jié）淨室的送風方（fāng）式
這種方式可以確保極為嚴格的半導體芯片生產環境或設備的微環境控製達到（dào）高潔淨度等級(如0.05~0. lμm, ISO 1級)，而其周圍的開放式大麵積潔淨環境僅保持在相對較差的潔（jié）淨度等級(如（rú）ISO 5級或ISO 6級)，微環（huán）境內為潔淨度控製嚴格的單向流潔淨環境，而開放式（shì）潔淨室為單向流或混合（hé）流潔淨室。這種方式的能（néng）量消耗較少（shǎo），工藝布置（zhì）靈活性好，建設投資和運行費用都可以（yǐ）降低。