
過濾器安裝後的檢漏是確認安裝質量,檢測空氣過濾器送(sòng)風口的整個麵,過濾器(qì)的周邊,過濾器外框和安裝框架之間的密封處。檢(jiǎn)漏時,從過濾器的上(shàng)風側引入測試氣溶膠,並立即在其下風(fēng)側進(jìn)行掃描。該項測試一般在潔淨室(區)的“空態”或“靜態”進行(háng)。
空氣過濾器安裝後的檢漏方法有光度計法和粒子計數器法。光度(dù)計法一(yī)般用於帶小型空氣處理係統的潔淨(jìng)室(shì)或(huò)安(ān)裝有氣溶膠注入點的管路係統,可達到規定(dìng)的高濃度測試氣溶膠;由於(yú)粒子計數器法的(de)靈敏性(xìng)好和汙染少,一般都采用粒(lì)子計數器(qì)法進行空氣過濾器(qì)安(ān)裝後的檢(jiǎn)漏。
采用光度計法進行掃描檢漏時,被測試的(de)過濾器的穿透粒徑的穿透率等於(yú)或(huò)大於0.005%。所采用(yòng)的測試氣溶膠不應(yīng)對潔淨室(區)內的產品或工藝設施(shī)帶來影響。在進行光度計法檢漏前,被測試過(guò)濾器(qì)應在額定風速的80%至120%與之間運行,並確(què)認其送風(fēng)的均(jun1)勻性(xìng)。被測試過濾器(qì)的上風向引入的氣溶膠(jiāo)的濃度應為10mg/m3至100mg/m3。濃度低於20mg/m3時,將會降(jiàng)低檢漏的靈敏度,而(ér)濃度高於80mg/m3時(shí),若長時間測試會(huì)造成過濾器的汙堵。在過濾器檢漏前應確認氣溶膠的濃度和均勻性。
檢漏(lòu)掃描時(shí),若采用3cm×3cm方形探管,掃描速度不得超(chāo)過5cm/s,矩形探管的大麵(miàn)積掃描率不得超過15C㎡/s。在掃描過程中(zhōng),若顯示有等於或大於(yú)限值的(de)泄漏時(shí),則應將探管停(tíng)留在泄漏處。空氣(qì)過濾器的泄漏限值是指(zhǐ)超過上風向測試氣溶膠濃度10-4的泄漏,或與業主協商確定。
采用粒(lì)子(zǐ)計數器法進行掃描檢漏(lòu)時,被測試的空氣過濾器穿透粒徑的穿透率(lǜ)大於或等於0.00005%。不允許采用可能沉積在過濾(lǜ)器或管道上(shàng)的揮發性油光塵(chén)的測試用氣溶膠。在進行粒子計數器檢(jiǎn)漏前,被測試過濾器應在額定風(fēng)速的70%至130%之間運行,並確認其送風的均勻性。被測試過濾器的上風側應引入濃度均勻的大氣塵或添加含有其(qí)他氣溶膠的空氣,使之達到所需(xū)的測(cè)試氣溶膠濃度。對微粒大於等於0.5μm時,測試氣(qì)溶膠的(de)濃度應大(dà)於等於3.5×105C/m3;對於大於等於0.1μm的微粒(lì),其濃度應大於等於3.5×109PC/m3。
檢漏掃描時,采樣口距離被測部位應小(xiǎo)於5.0cm,以0.05m/s的速度移動。空氣過濾器下風側測試得到的泄漏濃度換算的透過率,不得大於該過濾器出廠合格透過率(lǜ)的3倍。安裝在管(guǎn)道或空氣處理機內的空氣過濾器的檢漏,檢測可采用光度計法或粒子計數器法(fǎ)。用於安裝在管道或空氣處理機內的易穿透粒徑(jìng)的穿透率(lǜ)大於0.005%的空氣過濾器的檢漏。
檢漏時,被檢測過濾器就在設計風(fēng)速的70%~130%之間運(yùn)行,並確認其送風均勻性。上(shàng)風(fēng)向引入的大氣塵或氣溶膠(jiāo)濃度應能滿足在下風向(xiàng)測試得到具(jù)有統(tǒng)計意(yì)義(yì)的讀(dú)數。測試時,應將采樣口距離被測部位30cm至100cm處,在管道中(zhōng)應(yīng)距管壁2.5cm,記錄實測的含(hán)塵濃度。空氣過濾器檢(jiǎn)漏的限值,采用光(guāng)度計法時,不得超過10-4(0.01%);采用粒(lì)子計數器(qì)法時,不(bú)得大於出廠合格透過率的3倍。