無塵車間控（kòng）製溫（wēn）濕度的必要性

無塵車間的溫濕度主要（yào）是根據您（nín）的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，首先應該（gāi）考慮人的舒適感（gǎn）。隨著空氣潔淨度要（yào）求的提高（gāo），工藝（yì）對溫濕度的要求也越來（lái）越高，必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規模集成電路生產的光刻（kè）曝光工藝中，作為掩（yǎn）膜板材料的玻璃與矽片的熱（rè）膨脹係數的差要（yào）求越來越小。直徑100um的矽片，溫度（dù）上升1度，就引起了（le）0.24um線性（xìng）膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫（wēn），同時要（yào）求濕度值一般（bān）較低，因為人出汗以後，對產品將有汙（wū）染（rǎn），特別是怕鈉的半（bàn）導體車間，這種車間不宜超過25度。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時（shí），冷卻（què）水管壁上（shàng）會結（jié）露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故（gù）。
對於大部分潔淨空（kōng）間，為了防止外界（jiè）汙染侵（qīn）入（rù），需要保持內部的壓力(靜壓)高於外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一（yī）般應符合以下原則：
1、潔淨度級別高的空間的壓力要高於相鄰的潔淨度級別低的空間的壓力。
2、相通潔淨室之間的門要開（kāi）向潔淨度級別（bié）高的房間。
3、潔淨空間的壓力要高於（yú）非潔淨空間的（de）壓力。
壓力差的維（wéi）持依靠新風量，這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或（huò）滲透)風量通過潔淨室的各種縫隙時的阻力。
對於亂流潔淨室由於主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內汙（wū）染的程度，所以主要用換氣次數（shù）這一概念，而不直接用速度的概念，不過（guò）對室（shì）內氣流速度也有（yǒu）如下要求：
1、送風口出口氣流速度（dù）不宜太大，和單純空調房間相比，要求速度衰減更快，擴散角度更大。
2、吹過（guò）水平麵的氣流速度(例如側送時回流速度（dù）)不宜太大，以免吹起表麵微粒重返氣流，而造成再汙染，這一速度一般不宜大幹0.2m/s。