
層流罩的懸浮粒子(zǐ)測試條件:
1、層流罩(zhào)吸風口≥0.5μm粒(lì)子濃(nóng)度不得小於35000粒/L。
2、層流罩吸風口處的粒(lì)子濃度(dù)測試,需要在(zài)測試潔淨工作(zuò)台操作區粒子濃度的時間內進行,需測5次。
3、檢測儀器(qì):CLJ-BII型(DC)塵埃粒子計數(shù)器。
層流(liú)罩(zhào)的懸浮粒子測(cè)試方法:
1、關閉(bì)淨化空調,使室內≥0.5μm粒子濃度大於350 00粒/L,且吸風口≥0.5μm粒子濃度不得小於350 00粒/L。
2、當吸風口處的粒子濃度達到穩定條件下(xià),在距主過濾器或整流格(gé)柵出口(kǒu)250 mm的平行斷麵的中心處連續測試5次,求(qiú)其(qí)平均值(zhí)。
3、當測試時有5μm粒子出現時,應(yīng)進(jìn)行多次采(cǎi)樣,當其多次出現時,才認為該測試數值是可靠。
4、可接受標準:≥0.5μm粒子濃度(dù)小於3.5粒/L,不準許有≥5μm粒(lì)子。
5、檢測結果記錄表錄入。