
無塵室內的氣流是左右無(wú)塵室潔淨度的重要因素,一般無塵室的氣流速度(dù)是選0.25~0.5m/s之間,此氣流速(sù)度屬微風(fēng)區域,易受人、機器等的動作而幹擾趨於混亂、雖(suī)提高(gāo)風速可抑製此一擾(rǎo)亂之影響而保持無塵室潔淨度、但因風速的提高(gāo),將影響運轉成本的增加,所以應在滿足要求的潔淨度水準之時,能以zui適當的風速供應,以達到適當(dāng)的風速供應以達到經濟性效果。另一方麵欲(yù)達到無塵室(shì)潔淨度之穩定效果,均一氣(qì)流之保持亦為(wéi)一(yī)重要因(yīn)素,均一氣流若無法保持,表示風速有異,特別是在壁麵,氣流會延著壁(bì)麵發生渦流作用,此時要(yào)實現無塵室高潔淨度事(shì)實上很困難。
垂直層流(liú)式方向要保(bǎo)持均一氣流也(yě)是非常(cháng)困難(nán)的,必須注重(chóng)以下幾點:
1、吹出(chū)麵的風速不可(kě)有速度上的差異;
2、地板回風板吸(xī)入麵之風(fēng)速不(bú)可有速度上的差異(yì)。速度過低或過高(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流之現象發生,而(ér)0.5m/s之速度,氣流則較均一,目前一(yī)般無塵(chén)室,其風速均取在0.25~0.5m/s之間。
影(yǐng)響無塵室風速的(de)因素:
影響無塵室的氣流因素很多(duō),如製程設備、人員、無塵室組裝材料、照(zhào)明器具等,同時對於生產設備上方氣流(liú)的分流(liú)點,亦應列入考慮因素。 一般(bān)操作(zuò)台或生產設備等表(biǎo)麵的氣流分流點,應設於無(wú)塵室空(kōng)間與無塵室(shì)隔(gé)牆(qiáng)板間距2/3之處,如此可使作業人員工作時,氣流可從製程區內部流向(xiàng)作業區,而將微塵帶走;若分(fèn)流點配置在製程區前方,將成為不當的氣流分流,此時大部份的氣流將流至(zhì)製程區之後(hòu),作業(yè)員操作(zuò)所引起的塵(chén)埃將被帶到設備後麵,工作(zuò)台因而將受到汙染,產品(pǐn)合格率也勢必(bì)降低。無塵室(shì)內的工作桌等障礙物,在相接處均會有渦流現象(xiàng)發生,相對地在其(qí)附近之潔(jié)淨度將會較(jiào)差,在工作桌麵鑽上回(huí)風孔,將使渦流現象減少zui低;組裝材料之選擇是否恰(qià)當、無塵室(shì)設備(bèi)布局是否完善,亦為氣流是否成為渦流現象之重(chóng)要因素。