電子潔淨室靜壓差的檢測方法

（1）檢（jiǎn）測要求
①靜壓差的測定要求在潔淨區內的所有的門全部關（guān）閉情況下進行。
②在潔淨室平麵（miàn）上應從潔淨度由（yóu）高到低的順序依次進行，一直檢測到直通（tōng）室外的房間。
③測管口（kǒu）設在室內沒有氣流影響的任何地方均可，測管口麵與氣流流線（xiàn）平行。
④所測量記錄的數據應到O.lPa。
（2）普（pǔ）通傳遞（dì）窗檢測方法
①先（xiān）關閉所有的（de）門。
②用微差壓計測量各潔淨室之間、潔淨室走廊之間、走廊與外（wài）界之間的壓差。
③記錄所有數據。
（3）測量（liàng）儀（yí）器采用YJB-150補償微壓計，量程0—1 500Pa或其（qí）他微壓力計，儀表靈（líng）敏度小於O.lPa。
（4）合格標準按照（zhào）傳遞窗原理（lǐ）潔淨室設計或工藝要求決定維持被測潔淨室的正壓或負壓值。
①不同級別的潔淨室或潔淨區與非潔淨室（區）之間的（de）靜壓差，應不小（xiǎo）於4.9Pa。
②潔（jié）淨室（區）與（yǔ）室（shì）外的靜壓差，不應小於9.8Pa。
③對於空氣潔淨度等級嚴（yán）於（yú）5級（100級）的單向流潔淨室在（zài）開（kāi）門時，門內0.6m處的室內工作（zuò）麵含塵（chén）濃（nóng）度應不大於相應級別的含塵濃度限值。
④若達不到以上標準的要（yào）求（qiú），應（yīng）重新調整新（xīn）風量、排風量，至合格為止。