潔淨室（shì）漏風原因的分析

一個密閉性能良好的潔淨（jìng）室，在使用過程中，主要的漏風途徑有以下四種：
送風口的漏風；室內門、窗縫（féng）隙（xì）的漏風；開門過程中的漏風；風淋室、傳遞窗各種淨化設備的漏風；室內配套設備的工藝排風。
1、縫隙漏風量計算
計算（suàn）方法一：
v=1.29(△P)1/2
△V=S*v
△P：潔淨室內外壓力差(Pa)
v：從縫隙處流過的（de）風速(m/s)
S：縫隙麵積(m2)
V：通過縫隙的泄漏（lòu）風量（liàng）(m3/h）
例：假設條件（jiàn）：房間正壓（yā）20pa，門縫長度3.6m，窗縫長度40m，假設縫隙寬度0.01m。門縫（féng）隙麵積S1=0.01*3.6=0.072m2，窗縫隙麵積（jī）S2=0.002*40=0.08m2。泄漏風量V=s*v=(S1+S2)*3600*1.29*(△P)1/2=(0.072+0.08)*3600*1.29*(20)1/2=3157m3/hr。
計算（suàn）方法二：
壓差法計算方（fāng）式：
L=0.827×A×(ΔP)1/2×1.25=1.03375×A×(ΔP)1/2
式（shì）中L—正壓漏風量（liàng）(m3/s)；0.827—漏風係數；A—總（zǒng）有效漏風（fēng）麵積(m2)；ΔP—壓力（lì）差(Pa)；1.25—不嚴密（mì）處附加係數。
2、開門的泄漏（lòu）風量
假（jiǎ）設條件：房間正（zhèng）壓ΔP=20Pa，門麵積S3=0.9*2.00=1.8m2，風速v=1.29(△P)1/2=5.77m/s，開啟次數n=1次/hr，開啟時間t=5s。
泄漏風量Q=S3*v*t*n=1.8*5.77*5*1*=51.93m3/h。
每小時開一次門，開5秒，泄漏空氣量51.93m3/h。
3、風（fēng）淋室與傳遞（dì）窗的空氣泄漏量（liàng）
假設條（tiáo）件：風淋（lín）室體積15m3，密閉無（wú）縫隙。開閉順序為(1)開→ (1)關→ (2)開→ (2)關。
分析：以風（fēng）淋室為例：
（1）開時A/S內壓力為常壓101325Pa，關時A/S內壓（yā）力為常壓101325Pa，保持不變。
（2）開時A/S內壓力為常壓101325Pa，保持不變，但穩定後（hòu）壓（yā）力變（biàn）為與房間內同樣（yàng）壓力（lì）101325+20pa，關時（shí）A/S內壓力為常壓101325+20Pa,保持不（bú）變（biàn）。
結論：所以（yǐ）需要補充的空氣量為15m3的空間壓力變化為20Pa時的密閉空間的補氣量。根據理想氣體方程式PV=mRT，(P氣（qì）壓，單（dān）位Pa;V體積，單位m3；m氣體質量（liàng）單位kg；R氣體常數等於287;T氣體開氏溫度，單位K，假設室內溫度25℃，開氏溫度為298K)。需補充空氣質量m=(△P *V)/(R*T)= (20*15)/(287*298)=0.0035kg=3L。
相對來說風淋室及傳遞箱的泄漏量（liàng）較小(密閉（bì）良好的（de）情況下)，可忽略不計。
4、工藝排風泄（xiè）漏風量
工藝排（pái）風泄漏風量即為工藝排風量。以上四種泄漏風量（liàng）之和即為房間維持正壓所需（xū）的送風（fēng）量。
更為快速的（de）計算方法：潔淨時正壓（yā）換氣次數(次（cì）/時) ，如表1正壓換氣（qì）次數經驗數據表，通過此表，可以更快速（sù）的計算正壓送風（fēng）量,潔淨室漏風原因分析及潔淨室正壓送風量計算（suàn）方法（fǎ）。
例，潔淨室要求正壓為20Pa(表中第四行)，潔淨（jìng）室體積為100m3，潔淨室是有外窗（chuāng）、密閉性（xìng）較好的潔淨室(表中（zhōng）第二（èr）列)，那麽（me）此潔淨室維持正壓所需的送風量（liàng）V=換氣次數2.5*100m3=250m3(不包括工藝排風)
為什麽有時不能達到理想正壓?
1、新風補充量不足：重（chóng）新計算新風需求量。
2、泄漏量過大：找出泄漏原因，尋出解決方案。
3、排風量太大（dà）：主要是（shì）工藝排風（fēng）量（liàng）超標，重新計算。
4、空調回風（fēng）量太大：重新調節風量。
簡單計算法的（de）應用實例—在（zài）潔淨室（shì）建造中為投（tóu）資（zī）方節約能源，合理的正壓值對潔淨室各項指標的達標及降低運行成本（běn）是非常重（chóng）要的。
半導體廠工程設備用電約占全廠用電的49%，冷動機用電占工程設備用電的35%，潔淨室空氣處理（lǐ）機組用電（diàn）占工程設（shè）備用電的23%。潔淨室（shì）正壓設定值越大，空（kōng）氣處理機組送風量（liàng）越大，冷動機負荷越高，降低電力的耗用，即減少資源的消耗與汙染源的製造。所以基於（yú）以上分析可知潔淨室內的正壓設定直接關係到廠（chǎng）區運行成本,潔淨室漏風原因分析及潔淨室正壓送風量計（jì）算方法。
例，某廠主要由一個150m2的1000級（jí）潔淨室和一個100m2的1級（jí）潔淨室組成，正壓設定（dìng）值為50Pa，現以其1級潔淨室為例計算所需新風（fēng）量。
計算條件
麵積100m2，層高3m，高架地板下部空間1m，FFU滿布加高架地（dì）板係統。窗9扇(1m x 1m)，門1扇(1mx2.1m)，每小時開啟一次，每次持續5秒，風淋室一個，傳遞箱一個(1m3)，工藝排風1000CMH，整個潔淨室（shì）氣密（mì）性良好，正（zhèng）壓設定為50Pa。
計算過（guò）程（chéng）：
1、縫隙泄漏風量（liàng）
V=(S1+S2)*3600*1.29*(△P)1/2
(0.01*1*4*9+0.02*1*2+0.02*2.1*2)*3600*50(1/2)*1.29=4642m3/h
2、開門泄漏風量
Q=S3*1.29*(△P)1/2*t*n
(2.1*1)*(50 (1/2)*1.29)*5*1=109m3/h
3、風淋室和傳遞（dì）窗密閉良好（hǎo），假設無漏風
4、工藝排風（fēng）量（liàng）為1000CMH
控製50Pa正壓所需的新風量為4624+109+1000=5733 m3/h，若根據經驗值估算，控製50Pa正壓所需風量為5.3*100*4+1000=3120m3/h，取（qǔ）大（dà）值5733m3/h，實際餘壓閥顯示正壓為65Pa，業主出於節（jiē）能考慮，要（yào）求降低正壓至35Pa。
一、針對FFU風速進行改善
改（gǎi）善方式：
1、通過中（zhōng）控（kòng）電腦，調整FFU馬（mǎ）達轉速降低(original：1,300 rpm)。
2、觀察潔淨室壓力值的變化(original：65Pa)。
3、持續降低（dī）轉（zhuǎn）速直至壓力為（wéi）45Pa。
4、記錄FFUzui後的轉速並觀察潔淨室壓力。
二、針（zhēn）對(MAU)風速進行改善
改善方式：
1、通過中控電腦調整MAU馬達轉速(original：45Hz)。
2、觀察（chá）潔淨室壓力值的（de）變化(original：45Pa)。
3、持（chí）續降低轉速直至壓力為35Pa。
4、記錄MAUzui後的（de）轉速，並觀察潔（jié）淨室壓（yā）力。
三、zui終（zhōng）節能效果
1、降低FFU轉速
（1）FFU轉速由（yóu）1,300 rpm降至1,100rpm。
（2）共計（jì）可節省FFU馬達耗電：62Kw。
2、降低MAU轉速
（1）調節潔淨室（shì）壓力至35Pa，MAU負載 由45Hz降至41Hz。
（2）共計可節省（shěng）MAU馬達耗電：4kW。
（3）降低潔淨室正壓同時可減少（shǎo）室外新風(MA)供應量以節省能源（yuán）。