潔淨室的靜電控製方案（àn）

潔淨室（shì）是工業生產中（zhōng）的重要組成（chéng）部分，半導體、平麵液晶顯示器、光電子和（hé）生物醫藥都（dōu）需要潔淨的生產（chǎn）車間，通常潔淨室是指空間空氣懸浮粒子濃渡被控製在規定界（jiè）限內（nèi）的房間或限定空間，這塵埃粒子的粒徑越小和被限定的粒數越小（xiǎo），潔（jié）淨（jìng）度便越高（gāo）。靜電對於（yú）潔淨室（shì）來說無疑是一大危害，主要表現於靜電放電、噪聲、電（diàn）擊人體等危害，如何控製潔淨室（shì）的靜電，幾點靜電控製辦法參考如下：
1、靜電控製的基本原則
（1）確定靜電（diàn）控製（zhì）級別。
（2）盡量減少靜電荷的產生。
（3）泄放和中（zhōng）和的辦法加速靜電荷消（xiāo）散，防止靜電積累。
（4）保護產（chǎn）品不受ESD的（de）損壞。
2、確定靜電控製的級別
（1）元器件、組件和設備靜電敏（mǐn）感度分級。
1級（jí）：易遭受0-1999V靜電電壓損壞的。
2級：易遭受（shòu）2000-3999V靜（jìng）電電壓損壞的。
3級（jí）：易遭（zāo）受4000-5999V靜電電壓（yā）損壞的。而敏感靜電壓大於16000V的（de），便不必采取（qǔ）防靜電措施（shī）。
（2）靜電防護（hù）工作（zuò）區的分級
A級：允許對地靜電電位不超過±100V。
B級：允許（xǔ）對地靜電電位不超過±1000V。
實際工程中是分靜電電位不超（chāo）過100V、500V、1000V等對（duì）應元器件、組件和設備靜電敏感電壓的3級（jí）。
3、盡量減（jiǎn）小靜電荷的產（chǎn）生
這是控製靜電三步曲的*步，在這淨（jìng）化工作環境中，的措施：
（1）盡量（liàng）采用性質相似器材，減少在接觸摩擦分離（lí）過程中產生靜電（diàn）電荷。
（2）盡量采用導靜電型或靜電耗散型材料的器材，減少接觸摩擦分離過程產生積累靜（jìng）電荷。
（3）盡量采用減（jiǎn）少接觸摩擦分離（lí）而（ér）產生（shēng）靜電荷的生產流（liú）程。
4、泄放和中和
這是控製靜電三步曲的第二（èr）步，在（zài）微電（diàn）子生產的淨化室中zui通常的措（cuò）施是接（jiē）地，采用導電性或耗散（sàn）性（xìng）材料泄放靜電荷，以及離子化消電器中和靜電荷。
（1）接地
潔淨室應設一個獨立靜電接地係統（包括地麵接地金屬網支係統、生產（chǎn）線工作站接地支（zhī）係統），以便室內所有設備金屬外殼、移動設備的金屬支（zhī）架、防靜電器材等安全（quán）、有效地將靜電（diàn）荷泄放至（zhì）大地。工作人員的帶電則通過手腕帶（dài）接地，以及通過防靜電鞋或腳跟帶再經防靜電地（dì）麵向大地泄放。地麵、牆麵、頂棚（péng）、隔斷等是硬接（jiē）地，設備外殼、移動設備（車、椅、貨架等）、工作台等則屬軟接地。
（2）離子化肖電器
潔淨室中生產組裝的元器件、PCB，生產線、工作站上總是難免存在一些不能接地的絕緣（yuán）導體和絕緣介質材料（例如大多數普通塑（sù）料）。在某些環境下，離子化消電器常用來局部消散這些物體上的靜電（diàn）荷，而更經常的是借助於空氣離子化來中和在絕（jué）緣介質上和孤立導體（tǐ）上的所帶靜電電荷。
（3）導靜電和靜（jìng）電耗散（sàn）材料
導靜電材料和靜電耗散材料由於（yú）其具有導靜電性，也是很好的靜電荷泄放材料，而且比金屬導體泄放更具有（yǒu）安全性，通常被采用做地板、牆麵、工作台、周轉容器、鑷子、刷子等防靜電器材。
5、防止ESD，保護產品
這是控製靜電的三步曲（qǔ）中zui後一步。在微電子生產的淨（jìng）化室中，為阻（zǔ）止（zhǐ）ESD發生在靜電敏（mǐn）感元器件或組件、PCB上，一種方法是對元器件和組件提供合適的接地（dì）或分路（lù）以“消散”掉產品上存在的靜電荷；另一種方法是用恰當的包裝方法和材料來（lái）處理靜（jìng）電敏感器件的（de）包（bāo）裝（zhuāng）和輸（shū）運（yùn）。這些材料可有效地屏蔽電荷侵入產品以及減少產品在包（bāo）裝箱中（zhōng）移動而產生靜電（diàn）荷。上，半導體、平麵液晶顯示器，光電子發展很快，集成度越來越高，芯片線徑越來越細（xì），對防靜電要求越來越高。美國ESD協會已開始修訂ANS ESD S 20.20-1999靜電放電控製大綱，對SSD靜電敏感性分類已作了些修改。