微電子潔淨廠房的特點和火災危險性

一、微電子工業類潔淨廠房的特殊工藝決定了它具有以（yǐ）下特點和火災危險性：
（1）廠房內大量存在用特（tè）殊的板材設置的潔淨室。潔淨室是個（gè）相對密閉空間，有的還是無窗密閉體（tǐ）。一般不設置開啟通風窗，密閉空間一旦（dàn）發生火災，熱（rè）量難於散發，產（chǎn）生大量煙氣，給人員（yuán）疏散（sàn）和消防（fáng）隊的撲救（jiù）造成較大（dà）困難（nán）。
（2）廠房對工藝加工設備精度和自動化程度要求很高，因而建築以（yǐ）及（jí）生產設備投資十分昂貴，一旦（dàn）發生火災，會造成嚴重（chóng）的經（jīng）濟損失。
（3）廠房操作工藝大多需（xū）使（shǐ）用易燃、易爆液體或氣體。一旦有液體（tǐ）或氣體泄（xiè）漏，就有可能（néng）引發火災、爆炸。
（4）潔淨室的電氣設備較多，線路大多為暗敷，檢修比較困難（nán），有了（le）故（gù）障及火災時不易發現。
（5）廠房內（nèi）有許多管（guǎn）道（如通風管（guǎn）、電（diàn）纜管）跨樓層相通，發（fā）生（shēng）火災，火勢會（huì）順（shùn）著管道迅速蔓（màn）延。
（6）廠房內的走廊、通道管，由於工藝的特殊（shū）要求，都（dōu）布置得（dé）迂回曲折，人員疏散困難（nán）。
（7）室內裝修使用（yòng）了一些（xiē）高分子合（hé）成材料，這些材料在燃燒時產（chǎn）生濃煙，散發毒（dú）氣，有的燃（rán）燒速（sù）度極快。
二、鑒於（yú）微電子工業類潔淨廠房的特殊性和火災危險性，建（jiàn）築防火設計中應（yīng）注意以下（xià）方麵：
（一）防火分隔
1、潔淨廠房的耐火等級不應低於二級（jí）。
2、潔淨廠房樓層數的判定：由於工藝要求（qiú），潔淨廠房的層高一般較普通廠房高，並需要設置上下技術夾層或技術夾道，夾層內（nèi）設置一些設備、風機、風管、電（diàn）纜、氣體和液體的輸送（sòng）管道。它與潔淨（jìng）區之間由（yóu）鏤空（kōng）地板、吊頂或錯綜複雜的管道上下連通。如果（guǒ）將技術夾層算（suàn）為獨立（lì）的（de）一層，防火分隔顯然很困難，筆（bǐ）者借鑒專家的意見認為可將（jiāng）上下技術（shù）夾層及生產區作為一層來考慮，但應在上下夾層內設置相應的消防（fáng）設施。
3、潔淨廠房的防火分區。由於工藝的需要，生（shēng）產車間生產線長度達到200餘米，按照《民用建（jiàn）築設計防火規範》的要求設置防火分區*不現實。鑒於該類工業的從業人員少，如果加強安全疏散條件和防火滅火設施配備，可（kě）按照生產需要設置防火分區。
（二）安全疏散
1、安全出口與疏（shū）散通道：在潔淨（jìng）廠房的設計中，人員的（de）安全疏散是尤為重要，也是（shì）較複雜的。應按照《潔淨廠房（fáng）設計規範》要求每一生產層、每一防火分區（qū）或每一潔淨區的安全出口數量，均不應少於二個，且安全出口（kǒu）應當分散布（bù）置。設計時應盡量使疏散路線與工藝流程分隔開，滿足從任何一（yī）處生產地（dì）點至安全出口不經過（guò）曲折的人員淨化路徑，應（yīng）直接明（míng）了避（bì）免曲折，且在走上（shàng）設置明顯的指示標誌。
2、火災撲（pū）救出入口的（de）要求：由（yóu）於潔淨廠房是個封閉間，一旦（dàn）發生火災，給消防隊員的撲救帶來困難，因此規（guī）範（fàn）要求潔淨廠房的外（wài）牆應（yīng）設可供消防隊員通往廠房潔淨區的消防口，消防口的（de）間距不大於80m，其寬度不應小於750mm，高度不小於1900mm，應（yīng）有明顯標誌，消防口平時可封閉，使用時由消防（fáng）隊員從室外打開。設計中在廠房內的火災（zāi）撲救入口門應盡量開（kāi）設（shè）在樓梯間內或（huò）疏散走道上（shàng），保證滅火人員的自身安全。
（三）室內裝（zhuāng）修
潔淨室的頂棚和壁板（包括夾芯材料（liào））應為（wéi）不燃燒體，且（qiě）不得采用有機複合材料，潔淨生產與一般生產區域之間應設置不燃燒體隔斷設施。這樣可以避免因室內任何一方發生火災（zāi）殃（yāng）及另外（wài）一方，避免（miǎn）燃燒（shāo）時產生（shēng）窒息性氣體、有害氣體等。目前國內（nèi）外製造廠家生產的（de）潔（jié）淨（jìng）室用金屬壁板，大部分均能滿足（zú）上述要求。
（四（sì））消防（fáng）給水和滅火設備
1、潔淨室的生產層及上下技術加層（不含不通行的技術夾層），均應設置室內消火栓。消火栓的用水量不小於10L/s，每支水槍的（de）出水量應不小於5L/s。
2、潔淨廠房（fáng）內設有貴重設備（bèi）、儀器的房間應設置固定（dìng）滅火設施。當設（shè）置自動噴水滅火係統時，宜采用預作用（yòng）式自動噴水滅火係（xì）統，當（dāng）設置氣（qì）體滅火係統時，不應采用能導致（zhì）人員窒息和對保護對象產生二次損害的滅火（huǒ）劑。
（五）消防（fáng）通訊設施（shī）
由於潔淨廠房（fáng）室內大量使用（yòng）金屬板材，一般屏蔽效果很強。所以（yǐ）在潔淨廠房內應設置一套完善的消防通訊設施。這套（tào）設施不僅為內部職工（gōng）在發生火災後報警和通訊使（shǐ）用，更應提供參與（yǔ）滅火的消防官兵使用，以確保火（huǒ）場通訊的暢通，減少不必要的通訊（xùn）中斷和通訊故障，以確保滅火人員的生命（mìng）安全。
（六）通風和（hé）防（fáng）排煙
1、易燃、易爆（bào）區域的排風應與一般區域分開（kāi），單獨設置，並選擇防爆型排風風機。
2、為保證生產（chǎn）安全（quán）和員工安全，應設置事故排風係統。事故排風係統應設自動和手動控製開關，手動控製（zhì）開關應分別設在潔淨室及潔（jié）淨室外便於操作的地點。
3、潔淨廠（chǎng）房的走廊，應設置機械防（fáng）排煙設（shè）施。潔淨廠房內管（guǎn）線種類（lèi）較（jiào）多，若（ruò）增（zēng）加一套防排煙（yān）管道有很大難度，潔淨室機械防排煙係統可（kě）於通風、淨化空（kōng）調係統合用，但必須采取可靠的防火安全措施。
4、風管應采用不燃材料，並根據相關規範的要求設置防火閥。
（七）電氣
1、潔淨廠房內應設置供人員疏散用的（de）應急照明和疏（shū）散指示標誌。在消防口處應設置紅色應（yīng）急照明燈。
2、潔淨廠房內（nèi）應設置備用照明，滿（mǎn）足所需要的（de）場所或部位進行各項活動和工作所需的zui低（dī）照（zhào）度，一般不應低於正常照明照度標（biāo）準的1/10。
3、潔淨廠房生產區（包括技術夾層）、機房、站房等均應設置火災報警探測器。潔淨廠房（fáng）生產區及走廊（láng）應設置手動（dòng）火災報（bào）警按（àn）鈕（niǔ）。
4、潔淨室內可能產生靜電危害的設備、流動液體、氣（qì）體或粉（fěn）體管道應采取防（fáng）靜電接地措施（shī）。