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微生物汙染控製的手段與（yǔ）方法
微生物懸浮於空氣中可形成（chéng）各種各樣的微生物氣溶膠，微（wēi）生物氣溶膠（jiāo）是（shì）指分（fèn）散相中含有（yǒu）微生物的氣溶膠。根據所（suǒ）需控製的對象和不同的微生物種類，又可分為細（xì）菌氣溶（róng）膠、真菌氣溶膠、病毒（dú）氣溶膠等，對生物（wù）汙染控製（zhì）較關注的微生物氣溶膠粒子主要分布在0.1～20um範圍內，見下表：生物汙染控製就本質而言，與其它空氣中懸（xuán）浮微（wēi）粒汙染（rǎn）控製的手段與方法是一致的，采取的主要手段與方（fāng）法有：1、采（cǎi）用空氣過濾器等物（wù）理方法把空氣中的（de）懸浮微生物粒子阻隔下來，再將潔淨（jìng）的空氣送（sòng）入微生物汙染控製區，以排除或稀釋控製區內被懸浮微...
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2020-08-31
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凝（níng）聚核粒子計數器的介紹
凝聚（jù）核粒子計（jì）數器從計測原理上歸類，仍屬於離散粒子（zǐ）計（jì）數器，與一般離散粒子計數（shù）器的（de）不同（tóng）之處在於它附有一套使被檢測空氣中的超微（wēi）粒子（zǐ）尺寸增大的裝置（zhì），以便於用一般離散粒子計數器測定那（nà）些原來遠小於（yú）其（qí）識別能（néng）力的超微粒子，例如0.02um的超微粒子。其工（gōng）作原理如下圖：被測（cè）空（kōng）氣中懸浮的超微粒（lì）子由采樣口進入凝聚核（hé）粒子計數器，經過溫度為35℃的飽和蒸汽發（fā）生容器及溫度為10℃的（de）凝（níng）聚管後，在溫度驟變的條件下（xià）以超微粒子為凝（níng）聚核，形成了尺寸遠大於超微粒子自（zì）身的液滴（dī）。液滴的尺寸可根據（jù）檢（jiǎn）測需要在一（yī）定範圍內調整...
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2020-08-27
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潔淨室靜電測（cè）試
潔淨室內往往存在著不容（róng）忽視的靜電（diàn）危害，是導致電子器件、電子儀（yí）器和設備損壞或性能下（xià）降的重要因素之（zhī）一，對芯（xīn）片製造影響尤（yóu）為重（chóng）要。此（cǐ）外，靜電（diàn）還是潔淨室在生產（chǎn）過（guò）程（chéng）中有易（yì）燃易爆氣體或粉塵產（chǎn）生時，導致爆炸、火災的元凶以及（jí）存在電擊（jī）傷人的隱（yǐn）患。潔淨室靜電對塵埃的吸（xī）附效應，也易造成生產環境（jìng）和產品各個壁麵的塵埃聚集，以致影響潔淨室的環境和產品被汙染（rǎn）。1、相關的規範規定潔淨室相關（guān）規範（fàn）對靜電防護問題（tí），從設計到運行都有具體的規定。例如，潔淨室設施應選用既不會產生也不能（néng）蓄積大量靜電的建（jiàn）築材料。為保護對靜電...
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2020-08-27
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潔淨室的噪聲、微振與（yǔ）照度的測試
由於潔淨室對排除（chú）室內汙（wū）染物的要求高，因此比一般空調房（fáng）間的通風換（huàn）氣量要（yào）大很多。1～5級高級別潔淨室的通風換氣次數甚至高達幾百次之多，是普通舒適（shì）性空調房間換氣次數的幾十倍（bèi）。正因為（wéi）需要巨大的通風換氣量，從（cóng）節省（shěng）驅動能（néng）耗及減少輸送氣流的沿程熱損耗的角度出發，就要盡可能拉近機房與潔淨室的距離。這（zhè）也正是廣泛（fàn）采用裝置在潔淨室（shì）內的（de）風（fēng）機過濾器（qì）機組的原因之一。由於（yú）機械設備運轉造（zào）成的機（jī）械振動與噪聲、空調淨化係（xì）統較高（gāo）的靜（jìng）壓（yā）值及係統中氣流引起的噪聲與微振等，都比一般空調係（xì）統更為突（tū）出，因此潔淨室的噪（zào）聲與微...
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2020-08-26
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潔淨室粒子沉積測試
粒子沉積測試在國外（wài）某些高級別潔淨（jìng）室頗受重視。因為通過（guò）此項測試，可以（yǐ）讓用戶（hù）了解可能沉（chén）積到潔淨室工作表麵（miàn）或產（chǎn）品上的空氣中懸浮粒子（zǐ）的數量與粒子粒徑，這對於分析（xī）產品的成品率有較高的參考價（jià）值（zhí）。其檢測的（de）方式是用表麵特性與生產中所關注的表麵相類似的測量（liàng）采樣板，在潔淨室內收集沉積粒子。再用光學顯微鏡（jìng）、電子顯微鏡或表麵掃描儀確（què）定（dìng）沉積（jī）粒子的粒徑與數量；也可以（yǐ）用粒子沉降光度計獲得粒子沉積率的（de）數據。後（hòu）以每單（dān）位表（biǎo）麵麵積在單位時間內的粒子質量（liàng）或數目（mù）來表示沉積粒子的數據。1、測量采樣板上沉積粒子的獲取方法...
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2020-08-26
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潔淨室（shì）汙染（rǎn）滲漏測試
ISO14644明確規定（dìng）此項測試（shì），並（bìng）指出特別是對於1～5級高級別潔淨（jìng）室應有（yǒu）效的進行此項測試。此項測試的目的是用以測定有（yǒu）無受汙染的空氣從周圍具有相同或不同靜壓的非受控區侵入到潔淨區，以評（píng）估潔淨室受周邊汙染的風險，為采取相（xiàng）應措施提供依據。此項測試可采用離散粒子計數器或氣溶膠光度計。1、使用（yòng）離散粒子計數器測試汙染滲漏（1）測量緊靠被（bèi）評估潔淨室外部的粒子濃度，該濃（nóng）度（dù）應該比潔淨室（shì）高出104倍，並（bìng）且其濃度至少等於3.5*106個待測粒徑的粒（lì）子（zǐ）。如果濃度小於該值，為確保測試的可靠性應使用氣（qì）...
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2020-08-24
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